KOSMOSシリーズ ピエゾドライバ VIRGO

モーターコントローラCosmonシリーズと制御支援ソフトChamonixを使用して

ピエゾ、ステッピングモータ、サーボモータなど異なる駆動系を一括制御が可能です。

 

構成例

特徴

・ミクロン台の高精度位置決めと、ナノオーダーの超高精度位置決めを一つのシステムで構築が可能となりました。

・ステッピングモータとピエゾの同期制御による超高精度モーション制御に最適。

・マルチコントローラ「ARIES」、ピエゾドライバ「VIRGO」の採用により、シンプルな構成を実現。

・ピエゾとモータの通信系統を一本化することにより、制御設計のコストを大幅削減。

・D/A変換機、ファンクションジェネレータは不要。

・10MHzの高速入力周波数に対応。

 

詳細はカタログにてご確認下さい [ カタログ ]

一般仕様

型番 VIRGO
外形寸法(mm) W213.4xH89xD420
制御方式 パルス列入力制御、PIDアナログフィードバック方式
制御軸数 1軸
入力電源 AC90~240V 50Hz/60Hz
消費電力 50VA MAX(AC100V供給時)
使用環境 動作温度:10℃~40℃、動作湿度30~80%(結露なきこと)
ウォームアップ時間 30分以上推奨
重量 3.6kg


機能仕様

駆動機能 CW/CCWパルス列入力をカウントし
その値(0~65,535)に応じた電圧を出力してピエゾステージの 位置決めを行います
入力パルス周波数 最大10MHz
パルスカウント範囲 -1~+65,536パルス(位置決めに使用する範囲は0~65,535)
センサアンプ部 センサタイプ:静電容量型
センサ出力電圧:0V~+10V
センサモニタ(Sensor Monitor) 出力インピーダンス:100Ω
PID制御部 アナログ入力信号(ANin)
入力電圧:0V~+10V、入力インピーダンス:100kΩ
偏差出力信号(Err)
出力電圧:-10V~+10V、出力インピーダンス:100Ω
ドライバ部 ・ピエゾ駆動信号(Output)
 出力電圧:-20V~+150V、出力インピーダンス:約32Ω、
 出力電流:60mA(平均) ,500mA(ピーク<6msec)、ドライバ増幅率:15倍、
 ドライバ出力リップルノイズ:1mVp-p(~100kHz帯域,容量性負荷5.4uF時)、
保護回路:負荷ショート検出,過熱保護(内部温度70度以上) ・モニタ信号(Mon)
出力電圧:-1.33V~+10V、出力インピーダンス100Ω
その他出力信号 ・リミット信号(CWLS,CCWLS) オープンコレクタ出力(絶対最大定格80V,30mA)
・アナログ出力信号(ANout) 出力電圧:0V~+10V
入力パルス信号 ・CWパルス,CCWパルス信号: フォトカプラ入力,7.5~14mA
表示モニタ POWER ON/OFF状態、センサ(CWリミット,CCWリミット)状態、非常停止状態


 

ピエゾドライバ

ピエゾステージに電圧を印加し駆動させるための低ノイズドライバです。

オープンループで動作させる場合や、大きな電流を必要とする高速駆動時の外部電源として使用できます。


電圧出力方法

①マニュアル インターフェイス
  フロントパネルの "BIAS ADJUSTMENT" ツマミを回して手動で0~150Vを出力できます
出力電圧値は表示器に示されます※。
※表示器を装備した機種のみ  
②外部制御 インターフェイス
  リアパネルのInput端子にアナログ電圧(0~10V)を入力することで、15倍に増幅された0~150Vを出力します。
任意の波形や周波数で駆動できます。  

【ラインナップ】

出力電流の違いにより標準容量、中容量、大容量の3タイプをラインナップしています。
接続するピエゾステージの静電容量や駆動条件に合わせて選定できます。

型番

PH103 PH301 PH601
標準容量 中容量 大容量
標準容量 中容量 大容量
接続可能軸数 1軸
入力電圧 0~10V
出力電圧 0~150V
増幅度 15倍
出力電流 平均 40mA 1A 2A
ピーク 500mA ±5A ±10A
出力リップルノイズ 1mVp-p 5mVp-p 5mVp-p
モニタ表示 オプション 3.5桁表示 3.5桁表示
電 源 AC100V~120V/
AC200V~240V 切替式
AC100V AC100V
消費電力 30VA 230VA 500VA
外形寸法 W210×D252×H96mm W260×D314×H139mm W320×D384×H156mm
本体質量 2.8kg 7.5kg 12.8kg
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