手動X/XYステージ

XM07F-S3-CL

価格(JPY)
¥ 91,000
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ステージ結線図

備考・特徴

●高剛性精密クロスローラガイドを使用した手動Xステージです。
●本体材質は鉄、ニッケルメッキ仕上げを採用。
●サイド押しタイプはコンパクトで狭いスペースでの使用に最適です。
●「Fine Pitch Positioner FPP03-13」を搭載した高分解能タイプです。
●「FPP03-13」は神津精機が独自設計開発したサブミクロン対応のマイクロメータヘッドです。
メカ仕様
型式XM07F-S3-CL
勝手違いXM07F-S3-R-CL
テーブル面70mm×70mm
案内方式精密クロスローラガイド
移動範囲粗動 13mm, 微動 0.3mm
真直度≦2μm/13mm
最小読み取り粗動 約10μm/目盛, 微動 約0.5μm/目盛
モーメント荷重0.08 arcsec/N・cm
水平耐荷重117.6N (12kgf)
材質
外観ニッケルメッキ仕上げ
自重0.96kg
直交度-
駆動方式精密ポジショナー FPP03-13(13mm)
オーバーホール費
¥ 15,000~
※オーバーホール費に交換部品代は含まれません
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます) ¥ 12,000
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます) ¥ 12,000
オプション・モータ交換
同形モータ交換費 ~
異形モータ交換費 ~
※モータ交換費に モータ費用は含まれません
 アクセサリ
 アクセサリ スペーサ等のアクセサリについてはこちらをご覧ください
お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくはお問い合わせください。

関連情報

S3-CL、S3-R-CL、S3-RRR-CLのグリス交換は、本体のみとなります。

手動X/XYステージの技術情報はこちらをご覧ください。

手動X/XYステージ