自動X/XYステージ

XA07A-R2H

価格(JPY)
¥ 160,000
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ステージ結線図

備考・特徴

●精密クロスローラガイドを使用した自動Xステージです。
●XA07A-R2Hは透過穴タイプです。
●送り方式は耐久性に優れたボールネジを採用。
●5相ステッピングモーター使用。
●KOSMOSシリーズコントローラのご使用をお勧め致します。
●モーター5本リード線用ケーブルをご使用ください。
●2相ステッピングモーター仕様対応不可
メカ仕様
型式XA07A-R2H
勝手違いXA07A-R2H-R
テーブル面70mm×70mm
案内方式精密クロスローラガイド
移動範囲±10mm
送り方式ボールネジ, リード 1.0mm
分解能 フル/ハーフ2μm/1μm
分解能 マイクロステップ (1/20分割)0.1μm
最高速度10mm/sec
累積リード誤差≦5μm/20mm
繰返し位置決め精度≦±0.2μm
ロストモーション≦0.5μm
水平真直度≦0.5μm/20mm
垂直真直度≦1μm/20mm
バックラッシュ≦0.2μm
モーメント荷重0.05 arcsec/N・cm
水平耐荷重98N (10kgf)
材質アルミ合金
外観白色仕上げ
自重0.65kg
直交度-
電気仕様
使用モータ5相ステッピングモーター (多摩川精機: TS3664N29E4) 定格電流 0.75A/相,基本ステップ角 0.72°
コネクタ型式丸形20ピン (ヒロセ: RP13A-12RA-20PC)
センサ基板型式F-106(HOME, LIMIT), 勝手違い: F-106R(HOME, LIMIT)
Options/Accessories
真空up to "ultra heigh vacuum" (UHV), contact us.
Clean room-C Lubricant exchange
Mirror Symmetrysee technical for possibilities, contact us
Motor handleto manually move the stage
Motor typenearly any motor type can be mounted, contact us.
Connector typeexchange to DSub 15 connector, contact us.
Limitdifferent types of optical/mechanical, contact us.
EncoderLinear encoders (up to 50nm), contact us.
Adaptersmount stages together. contact us.**
CustomizationAnything you need? contact us.**
オーバーホール費
¥ 42,000~
※オーバーホール費に交換部品代は含まれません
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます) ¥ 30,000
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます) ¥ 30,000
オプション・モータ交換
同形モータ交換費 ¥ -~
異形モータ交換費 ¥ -~
※モータ交換費に モータ費用は含まれません
 アクセサリ
 アクセサリ スペーサ等のアクセサリについてはこちらをご覧ください
お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくはお問い合わせください。

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