自動X/XYステージ

XA07F-R102

価格(JPY)
¥ 150,000
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ステージ結線図

備考・特徴

●精密クロスローラガイドを使用した自動Xステージです。
●送り方式は高分解能の研削ネジを採用。
●KOSMOSシリーズコントローラのご使用をお勧め致します。
●モーター5本リード線用ケーブルをご使用ください。
●2相ステッピングモーター仕様も承ります。[型式] XA07F-R102-BM
メカ仕様
型式XA07F-R102
勝手違いXA07F-R102-R
テーブル面70mm×70mm
案内方式精密クロスローラガイド
移動範囲±10mm
送り方式研削ネジ, リード 0.5mm
分解能 フル/ハーフ0.5μm/0.25μm
分解能 マイクロステップ (1/20分割)0.025μm
最高速度2.5mm/sec
累積リード誤差≦10μm/20mm
繰返し位置決め精度≦±0.3μm
ロストモーション≦1μm
水平真直度≦0.5μm/20mm
垂直真直度≦1μm/20mm
バックラッシュ≦1μm
モーメント荷重0.05 arcsec/N・cm
水平耐荷重98N (10kgf)
材質
外観ニッケルメッキ仕上げ
自重1.2kg
直交度-
電気仕様
使用モータ5相ステッピングモーター (オリエンタルモーター: PK544PMB)
2相ステッピングモーター(オリエンタルモーター: PKP245D15B-L)
コネクタ型式丸形20ピン (ヒロセ: RP13A-12RA-20PC)
センサ基板型式F-116(HOME, LIMIT), 勝手違い: F-116R(HOME, LIMIT)
オーバーホール費
¥ 42,000~
※オーバーホール費に交換部品代は含まれません
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます) ¥ 30,000
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます) ¥ 30,000
オプション・モータ交換
同形モータ交換費 ¥ 12,000~
異形モータ交換費 ¥ 30,000~
※モータ交換費に モータ費用は含まれません
 アクセサリ
 アクセサリ スペーサ等のアクセサリについてはこちらをご覧ください
お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくはお問い合わせください。

自動X/XYステージ