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MVXA16A-R101
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備考・特徴
●精密クロスローラガイドを使用した真空対応自動Xステージです。
●送り方式は高分解能の研削ネジを採用。
●真空対応5相ステッピングモーター使用。
●送り方式は高分解能の研削ネジを採用。
●真空対応5相ステッピングモーター使用。
| オーバーホール費 |
|---|
| ~ |
| オプション・グリス交換 | |
|---|---|
| クリーングリス交換費（ 型式末尾に”-C”が付きます） | |
| 真空グリス交換費（型式末尾に”-V”が付きます） | |
| オプション・モータ交換 | |
|---|---|
| 同形モータ交換費 | ~ |
| 異形モータ交換費 | ~ |