真空スイベル(ゴニオ)ステージ
MVSA05B-RB02
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備考・特徴
●案内方式に精密クロスローラガイドを使用した真空対応スイベルステージです。
●本体材質はリン青銅。
●真空対応5相ステッピングモーター使用。
●本体材質はリン青銅。
●真空対応5相ステッピングモーター使用。
メカ仕様
型式 | MVSA05B-RB02 |
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テーブル面 | 50mm×50mm |
案内方式 | 精密クロスローラガイド |
回転範囲 | ± 8° |
送り方式 | ウォーム&ウォームホイール 1/372 |
分解能 フル/ハーフ | 0.00192°/0.00096° |
分解能 マイクロステップ (1/20分割) | 0.000096° |
最高速度 | 4.8°/sec |
ワークディスタンス | 86mm±0.2mm |
回転中心変位量 | ≦φ0.05mm/±8° |
ロストモーション | ≦0.006° |
バックラッシュ | ≦0.003° |
モーメント荷重 | 0.31 arcsec/N・cm |
水平耐荷重 | 29.4N (3kgf) |
材質 | りん青銅 |
自重 | 0.76kg |
電気仕様
使用モータ | 真空5相ステッピングモーター 定格電流 1.4A/相,基本ステップ角 0.72° |
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コネクタ型式 | 真空用 D-sub 9ピン (Accu-Glass Products: 9D-HVCP) |
オーバーホール費 |
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~ |
オプション・グリス交換 | |
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クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます) | |
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます) |
オプション・モータ交換 | |
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同形モータ交換費 | ~ |
異形モータ交換費 | ~ |