真空スイベル(ゴニオ)ステージ

MVSA10A-RM

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ステージ結線図

備考・特徴

●案内方式に精密クロスローラガイドを使用した真空対応スイベルステージです。
●本体材質はアルミ。
●真空対応5相ステッピングモーター使用。
メカ仕様
型式MVSA10A-RM
テーブル面100mm×100mm
案内方式精密クロスローラガイド
回転範囲±10°
送り方式ウォーム&ウォームホイール
分解能 フル/ハーフ0.00168°/0.00084°
分解能 マイクロステップ (1/20分割)0.000084°
最高速度4.2°/sec
ワークディスタンス134mm±0.2mm
回転中心変位量≦φ0.05mm/±10°
ロストモーション≦0.005°
バックラッシュ≦0.003°
モーメント荷重0.02 arcsec/N・cm
水平耐荷重68.6N (7kgf)
材質アルミ合金
自重2.8kg
電気仕様
使用モータ真空5相ステッピングモーター 定格電流 1.4A/相,基本ステップ角 0.72°
コネクタ型式真空用 D-sub 9ピン (Accu-Glass Products: 9D-HVCP)
オーバーホール費
~
※オーバーホール費に交換部品代は含まれません
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます)
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます)
オプション・モータ交換
同形モータ交換費 ~
異形モータ交換費 ~
※モータ交換費に モータ費用は含まれません

関連情報

精度検査は大気中で行なっています。又、ベーキングには対応しておりません。 ベーキング対応製品は弊社営業部までお問合せ下さい

真空対応ステージの技術情報についてはこちらをご覧ください。

真空スイベル(ゴニオ)ステージ