手動回転ステージ モンブランシリーズ
RM13A-C3
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備考・特徴
●精密クロスローラベアリングを使用した手動回転ステージです。
●本体材質はアルミ白色仕上げを採用。
●RM13A-C3は「Fine Pitch Positioner FPP03-13」を搭載した高分解能タイプです。
●「FPP03-13」は神津精機が独自設計開発したサブミクロン対応のマイクロメータヘッドです。
●本体材質はアルミ白色仕上げを採用。
●RM13A-C3は「Fine Pitch Positioner FPP03-13」を搭載した高分解能タイプです。
●「FPP03-13」は神津精機が独自設計開発したサブミクロン対応のマイクロメータヘッドです。
メカ仕様
型式 | RM13A-C3 |
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勝手違い | RM13A-C3-R |
テーブル面 | φ128mm |
案内方式 | クロスローラベアリング |
粗動回転範囲 | 360° |
微動回転範囲 | ±3° |
偏心 | 15μm/360° |
面振れ | 20μm/360° |
最小読み取り(テーブル) | 1°/目盛 |
最小読み取り(マイクロ) | 粗動 約0.0075°/目盛, 微動 約0.00038°/目盛 |
水平耐荷重 | 196N (20kgf) |
モーメント荷重 | 0.1 arcsec/N・cm |
材質 | アルミ合金 |
外観 | 白色仕上げ |
自重 | 1.4kg |
駆動方式 | 精密ポジショナー FPP03-13(13mm) |
センター穴 | φ40 |
オーバーホール費 |
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¥ 24,000~ |
オプション・グリス交換 | |
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クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます) | ¥ 15,000 |
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます) | ¥ 15,000 |
オプション・モータ交換 | |
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同形モータ交換費 | ~ |
異形モータ交換費 | ~ |
アクセサリ | |
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アクセサリ | スペーサ等のアクセサリについてはこちらをご覧ください |