自動X/XYステージ モンブランシリーズ ※詳細は型式をクリックして下さい
XA07A-L2
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備考・特徴
●精密リニアガイドを使用した自動XYステージです。
●ロングストロークタイプ。
●送り方式は耐久性に優れたボールネジを採用。
●本体材質はアルミ白色仕上げ。
●5相ステッピングモータ使用。
●KOSMOSシリーズコントローラのご使用をお勧め致します。
●モータ10本リード線用ケーブルをご使用ください。
●ロングストロークタイプ。
●送り方式は耐久性に優れたボールネジを採用。
●本体材質はアルミ白色仕上げ。
●5相ステッピングモータ使用。
●KOSMOSシリーズコントローラのご使用をお勧め致します。
●モータ10本リード線用ケーブルをご使用ください。
メカ仕様
型式 | XA07A-L2 |
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勝手違い | XA07A-L2-R |
テーブル面 | 70mm×70mm |
案内方式 | 精密リニアガイド |
移動範囲 | ±35mm |
送り方式 | ボールネジ, リード 1.0mm |
分解能 フル/ハーフ | 1μm/0.5μm |
分解能 マイクロステップ (1/20分割) | 0.05μm |
最高速度 | 5mm/sec |
累積リード誤差 | ≦15μm/70mm |
繰返し位置決め精度 | ≦±0.5μm |
ロストモーション | ≦1μm |
水平真直度 | ≦3μm/70mm |
垂直真直度 | ≦3μm/70mm |
バックラッシュ | ≦1μm |
モーメント荷重 | 0.26 arcsec/N・cm |
水平耐荷重 | 68.6N (7kgf) |
材質 | アルミ合金 |
外観 | 白色仕上げ |
自重 | 1.3kg |
直交度 | - |
電気仕様
使用モータ | 5相ステッピングモータ (オリエンタルモーター: PX533MH-B) 定格電流 0.75A/相,基本ステップ角 0.36° |
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コネクタ型式 | 丸形20ピン (ヒロセ: RP13A-12RA-20PC) |
センサ基板型式 | H4 |
Options/Accessories
真空 | up to "ultra heigh vacuum" (UHV), contact us. |
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Clean room | -C Lubricant exchange |
Mirror Symmetry | see technical for possibilities, contact us |
Motor handle | to manually move the stage |
Motor type | nearly any motor type can be mounted, contact us. |
Connector type | exchange to DSub 15 connector, contact us. |
Limit | different types of optical/mechanical, contact us. |
Encoder | Linear encoders (up to 50nm), contact us. |
Adapters | mount stages together. contact us.** |
Customization | Anything you need? contact us.** |
オーバーホール費 |
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¥ 48,000~ |
オプション・グリス交換 | |
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クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます) | ¥ 36,000 |
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます) | ¥ 36,000 |
オプション・モータ交換 | |
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同形モータ交換費 | ¥ 12,000~ |
異形モータ交換費 | ¥ 30,000~ |
制御装置 | |
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対応コントローラ | 対応するモータコントローラについてはこちらをご覧ください |
対応ドライバ | 対応するモータドライバについてはこちらをご覧ください |
対応ケーブル | 対応するモータケーブルについてはこちらをご覧ください |
アクセサリ | |
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アクセサリ | スペーサ等のアクセサリについてはこちらをご覧ください |