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カタログ
総合カタログ Vol.23
小型位置決めステージをはじめ制御用コントローラーや大型特注機器のご紹介なども載っている総合カタログです。
PDF（32.32MB）
製品案内
神津精機の製品ラインナップと特長をまとめた小冊子です。
PDF（1.63MB）
半導体製造工程で使用する 高精度位置決めステージ使用例
前工程と後工程の各フェーズにおける当社ステージの用途事例をまとめました。
PDF（7.48MB）
超高精度
6軸アライメントステージ
駆動ユニットにダブルクサビ方式を使用したパラレルリンク機構を採用したことで、これまでのRSTアライナーでは別途追加になっていた昇降チルトの駆動が可能になりました！
PDF（2.18MB）
超高精度
アライメントステージ
RST Aligner
XYΘの3軸駆動が可能なアライメントステージです。
大口径透過穴、特注への柔軟な対応が可能な構造ですのでお気軽にご相談ください。
PDF（2.4MB）
Smart アライメント
３自由度XYθの薄型アライメントステージとボールネジ駆動の小型回転ステージのご紹介です。
PDF（2.12MB）
高精度アライメント用自動回転ステージ
ボールネジ駆動のタンジェントバー式回転ステージに□160mmが新登場。ウエハ等の基板のアライメントに最適です。
PDF（1.69MB）
薄型高耐荷重Zステージ
高速駆動Zステージ
「低床」「ロングストローク」「高耐荷重」を同時に実現したSEID-003、ベルト駆動により高速を可能にした「ZA10A-32F01-2X」のご紹介です。
PDF（1.66MB）
高耐荷重6軸ステージ
ご提案
6軸ステージの中でも特に剛性の高いステージを集めたパンフレットです。半導体通電検査に最適です。
PDF（1.88MB）
KOHZU
6軸マニピュレータ集
弊社の小型位置決めステージ群で構成された6軸マニュピュレーターのご紹介です。 用途に応じたカスタマイズもご提案いたします。
PDF（5.48MB）
自動Zステージ特集
自動Zステージのタイプ別に紹介しています！
また、カスタム事例も紹介しています！
PDF（8.19MB）
ボールネジ駆動スイベル 100mmx100mm
50mmx50mm、70mmx70mmに加え「100mmx100mm」のサイズもラインラップに追加しました！
既存機にくらべ、耐久性、高分解能、軽量となりましたのでぜひご検討ください。
PDF（1.5MB）
表面形状計測システム
Dyvoce
ワークに合わせたレーザ変位計でウェハーのSORI量や基板や部品形状などの測定解析を行うシステムです。
PDF（0.7MB）
手ぶれシミュレータ
TSSシリーズ
カメラの手振れ補正機能の検証を行うための、CIPA規格認証を取得している手振れ振動再現ステージです。
PDF（1.2MB）
取扱説明書
モーターコントローラ KOSMOSシリーズ
| 製品名 | 備考 |
|---|---|
| CRUX-D/INCOM PDF | Rev 1.04 2024/11/01更新 (PDF 2.85MB) |
| ARIES/LYNX/PYXIS PDF | Rev.1.43 2021/08/16更新 (PDF 3.84MB) |
| TITAN-AⅡ PDF | Rev.1.11 2014/10/01更新 (PDF 843KB) |
| TITAN-DⅡF PDF | Rev.2.00 2015/11/05更新 (PDF 867KB) |
| VIRGO PDF | Rev.1.01 2020/04/30更新 (PDF 2.35MB) |
| Chamonix PDF | Rev.1.2.3 2020/03/13更新 (PDF 8.5MB) |
| CRUX/CRUX-A（旧製品） PDF | Rev.1.41 2020/04/27更新 (PDF 5.24MB) |
モータードライバ結線図
| 製品名 | 備考 |
|---|---|
|
MD-551F,MD-55F,MD-255F MD-355F,MD-455F PDF |
モーターケーブル CA**VL,CB**VL,RCA**VL,RCB**VL 2015/11/10 (PDF 376KB) |
モータードライバ
アプリケーション
| 製品名 | コントローラ | 通信形式 | ダウンロード(圧縮ファイル) | 備考 |
|---|---|---|---|---|
| モーターコントローラ制御 『Chamonix』（シャモニー）（無料） |
KOSMOSシリーズ（ARIES及びCRUX） SCシリーズ |
RS-232C USB Ethernet (TCP/IP) |
Download | Ver.1.2.4 (ZIP 37.1MB) |
| モーターコントローラ制御 『ChamonixⅡ』（無料）※1 |
KOSMOSシリーズ（ARIES、CRUX-D） | RS-232C USB Ethernet (TCP/IP) |
Download 取扱説明書PDF | β版（ZIP 665KB） |
※1 軽快な操作感をお試しください。（β版のため、動作保証はありませんので、ご了承願います。）
サンプルプログラム
| 製品名 | 説明 | ダウンロード(圧縮ファイル) | 備考 |
|---|---|---|---|
| モーターコントローラ 制御サンプルコード |
RS-232C接続制御 TCP/IP接続制御 Visual Basic, C# | Download | ZIP 690KB |
結線図
ステージとドライバの結線
ステージとモータードライバ、他社製コントローラとの接続を行う場合は
下記リンクPDFを参考にしてください。
ケーブル結線図
コントローラ用ケーブル(TITAN/CRUX/ARIES/LYNX)
| 製品種別 | 型式（**は長さ） |
|---|---|
| TITAN/CRUX用モーターケーブル 5本リードモーターステージ用 |
CA15**, RCA15** CB15**, RCB15** PDF |
| TITAN/CRUX用モーターケーブル 10本リードモーターステージ用（旧製品） |
CA15**A CB15**A PDF |
| ARIES/LYNX用制御ケーブル | CPS*** PDF |
| ARIES/LYNX用 フィードバックケーブル(受注生産) |
CM20**ENC PDF |
| 御客様準備コントローラ用 フィードバックケーブル（受注生産） |
CENCｰ**F PDF |
ドライバ用ケーブル
| 製品種別 | 型式（**は長さ） |
|---|---|
| ドライバ用ケーブル 5本リードモーターステージ用 |
CA**VL, RCA**VL CB**VL, RCB**VL PDF |
| ドライバ用ケーブル 10本リードモーターステージ用（旧製品） |
CA**, RCA** CB**, RCB** PDF |
SCコントローラ用ケーブル
| 製品種別 | コネクタ種別 | 型式（**は長さ） |
|---|---|---|
| SC-210/410用ケーブル （旧製品） |
角型コネクタ ステージ用 |
CA28**, RCA28** PDF |
| 丸型コネクタ ステージ用 |
CB28**, RCB28** PDF | |
| SC-021用ケーブル （旧製品） |
角型コネクタ ステージ用 |
CA13**, RCA13** PDF |
| 丸型コネクタ ステージ用 |
CB13**, RCB13** PDF | |
| SC-210/SC-410用 フィードバックケーブル （旧製品） |
角型コネクタ ステージ用 |
CA28**ENC(-△△) (**はステージ 側ケーブル長さ（ｍ）) （(-△△)は エンコーダ側ケーブル長さ（ｍ）) （ステージ側と同じ場合は無記）） PDF |
| 丸型コネクタ ステージ用 |
CB28**ENC(-△△) (**はステージ 側ケーブル長さ（ｍ）) （(-△△)は エンコーダ側ケーブル長さ（ｍ）) （ステージ側と同じ場合は無記）） PDF |
|
| SC-021用 フィードバックケーブル（旧製品） |
CENC-**F PDF | |