繰り返し位置決め精度
同じ方向からの任意の1点(基準とする測定点)に位置決めし、その位置を測定します。この測定点に対して7回の測定を行い、その最大差を求めます。この操作を所定の位置で行い、求めた値の最大値の1/2に±を付けた値を、繰り返し位置決め精度としています。 ただし、所定の位置とは、Xステージは中央・両端の3点で、スイベル及びZステージは中央の1点とします。 |
同じ方向からの任意の1点(基準とする測定点)に位置決めし、その位置を測定します。この測定点に対して7回の測定を行い、その最大差を求めます。この操作を所定の位置で行い、求めた値の最大値の1/2に±を付けた値を、繰り返し位置決め精度としています。 ただし、所定の位置とは、Xステージは中央・両端の3点で、スイベル及びZステージは中央の1点とします。 |