手動X・XYステージガイダンス

スペック表の見方

YM07A-S3-CL
YM07A-S3-CL
 スペック表  説明
 型式  YM07A-S3-CL   ① 型式の名称。
 勝手違い型式  YM07A-S3-RRR-CL   ② 型式①に対する逆勝手仕様の型式です。
 テーブル面  70mm×70mm   ③ ステージ上面の大きさです。
 案内方式  精密クロスローラガイド  ④ ステージの案内方式です。
 移動範囲Motion Range   粗動 13mm, 微動 0.3mm  ⑤ 中立点を基準としてプラス、マイナスで表示します。精密ポジショナーの場合は、粗動と微動での移動範囲を表示します。
 真直度  ≦2μm/13mm   ⑥ ステージ下面に対するステージ上面の真直度です。
 最小読み取り  粗動 10μm/目盛, 微動 0.5μm/目盛  ⑦ マイクロメータヘッド等で読み取ることのできる最小値です。
 モーメント荷重  0.2 arcsec/N・cm   ⑧ ステージがモーメント荷重を受けた時の傾斜角度です。
 水平耐荷重  53.9N(5.5kgf)   ⑨ ステージ中央での搭載可能重量です。
 材質  アルミ合金Aluminum Alloy   ⑩ 主に使用されている材料を示します。
 外観  白色仕上げ  ⑪ 外観の色や表面処理を示します。
 自重  0.93kg   ⑫ 製品の重量です。
 直交度  ≦20μm/13mm   ⑬ 2軸組合せステージの直交度を示します。
 駆動方式  精密ポジショナー FPP03-13(13mm)  ⑭ 使用されているアクチュエータの型式と移動量を示します。
 価格  ¥152,000   ⑮ 標準製品の価格を示します。 
 オーバーホール費 ※  ¥30,000 〜   ⑯ オーバーホールの費用を示します。
 クリーングリス交換費  ¥24,000   ⑰ クリーングリスへの交換費用を示します。
 真空グリス交換費  ¥24,000   ⑱ 真空グリスへの交換費用を示します。

※ オーバーホール費に部品代は含まれません。

※ マイクロメータヘッドはオーバーホール対象外となります。

 

案内方式

●クロスローラガイド

クロスローラガイドとは、90°のV溝を持つローラレースと円筒コロからなる案内方式です(図-1参照)。ローラレースの摺動面は焼入れ研磨仕上げにより平面度の精度が高く硬質に仕上げられています。円筒コロはこの2本のローラレースに挟まれた空間に互い違いに配置されています。ステージが駆動する際には、ローラレース上を複数の円筒コロが転がるため、停止時から起動時への摩擦の変化(静止摩擦と動摩擦の差)が小さく、作動すべりが起こりにくくなっています。また、クロスローラガイドは、線接触で荷重を支えるため、ボールガイド機構よりも剛性が高くなっています。このクロスローラガイドは、独自に設計された剛性が強く精度の高いものを使用し、ローラレースと円筒コロ間の与圧を精密に管理して高剛性を維持しています。 クロスローラガイド

●ゴシックアーク

ゴシックアークとは、擬円筒の摺動面とボールからなる案内方式です(図-2参照)。擬円筒の摺動面は、上テーブルとベースに直接加工され、焼入れ研磨仕上げとなっています。ボールは、摺動面の作る擬円筒の溝に挟まれて配置されています。擬円筒面とボールは、互いに4点で接触するため、作動すべりが起こりにくい構造になっています。また、与圧管理はボールの大きさで行なわれ、部品点数を少なくしています。 ゴシックアークガイド

標準勝手、逆組勝手、Z仕様

ご要望に応じて、マイクロメータとクランプを左右反転して取り付ける逆勝手仕様や、Z仕様に無償で対応いたします

マイクロサイド押し

S1 S1-R
S1Z S1Z-R

 

マイクロセンター押し

C1 C1-R
C1Z C1Z-R

●XY組勝手一覧

3D組み合わせ図

マイクロサイド押し

NNN NNR NRN
NRR RNN RNR
RRN RRR  

マイクロセンター押し

NNN NRR RNN
RRR    

●XYステージのZ仕様組勝手一覧

Z仕様3D組み合わせ図

マイクロサイド押し

NZN NZR NZRN
NZRR RZN RZR
RZRN RZRR ZNN
ZNR ZRN ZRR
ZRNN ZRNR ZRRN
ZRRR ZNN ZZR
ZZRN ZZRR ZRZN
ZRZR ZRZRN ZRZRR

 

マイクロセンター押し

RZRN RZR ZNR
NZRN NZR ZRR
ZNN ZRNN ZRNR
ZRN ZRRN ZRRR