表面形状測定装置 Dyvoce (ダイボス) シリーズ


表面形状測定装置 Dyvoce (ダイボス) シリーズは、被測定ワークに合わせたレーザ変位計を用いる 非接触形状測定システムです。使い易さを追求した機能、シンプルなユーザインタフェースを装備し、高精度ステージメーカならではの高い信頼性とモーションコントロール技術により、様々な測定を可能にします。


Dyvoce Ctoc

自動機 CtoCは、カセット・ツゥ・カセットでの半導体ウェハの表面形状および厚さ測定する装置です。 半導体工程内でのハイスループット測定を実現可能な1台です。
《特徴》
 カセット・ツゥ・カセット (CtoC)対応、ハイスループット
 12inchウェハまで対応、SEMI規格測定
 SECS / GEM / GEM300 対応

Dyvoce Ctoc

Coming Soon!!
手動機 枚葉型 は、 手置きのでの半導体ウェハのみならず 様々な試料の表面形状および厚さ測定する装置です。開発部門から生産部門まで対応可能な基本の1台です。
《特徴》
 枚葉型装置、□300mmまでの様々な試料に対応、SEMI規格測定

表面形状測定システム

本装置は、手置きのでの半導体ウェハのみならず様々な試料の表面形状および厚さ測定する装置です。
《特徴》
 枚葉型装置 、□300mmまでの様々な試料に対応、SEMI規格測定

表面形状測定装置