自動回転ステージガイダンス

スペック表の見方

RA07A-W02
 スペック表  説明
 型式  RA07A-W02   ① 型式の名称です。
勝手違い型式 RA07A-W02-R ② 型式①に対する逆勝手仕様の型式です。
 テーブル面  Φ68mm   ③ ステージ上面の大きさです。
 案内方式  ベアリング  ④ ステージの案内方式です。
 回転範囲  ±135°   ⑤ 中心点を基準としてプラス、マイナスで表示します。 
 送り方式  ウォーム&ウォームホイール  ⑥ ステージの送り方式です。
 分解能  フル/ハーフ ステップ  0.004°/0.002°   ⑦ マイクロステップ分割数の違いによる、ステージの各分解能です。 
 マイクロステップ(1/20分割)  0.0002° 
 最高速度  20°/sec   ⑧ ステージが動作できる最高速度(ハーフステップ、10kpps時)です。
 累積誤差  ≦0.015°/360°   ⑨ 検査方法を参照して下さい。
 ロストモーション  ≦0.006°   ⑩ 検査方法を参照して下さい。
 角度再現性  ≦0.003°   ⑪ 検査方法を参照して下さい。
 ピッチ誤差  ≦0.01°/4°   ⑫ 検査方法を参照して下さい。
 バックラッシュ  ≦0.001°   ⑬ 検査方法を参照して下さい。
 面振れ  ≦20μm/360°   ⑭ 検査方法を参照して下さい。
 偏心  ≦5μm/360°   ⑮ 検査方法を参照して下さい。
 モーメント荷重  0.51 arcsec/N・cm   ⑯ ステージがモーメント荷重を受けた時の傾斜角度です。
 水平耐荷重  58.8N(6kgf)  ⑰ ステージ中央での搭載可能重量です。 
 材質  アルミ合金  ⑱ 主に使用されている材料を示します。 
 外観  白色仕上げ  ⑲ 外観の色や表面処理を示します。
 自重  1.2kg   ⑳ 製品の重量です。
 5相ステッピングモーター  PK544PMB(オリエンタルモーター: 格電流 0.75A/相,基本ステップ角0.36°, リード線5本)  ㉑ 使用されているモーターの型式及び仕様を示します。 
モーター軸径 Φ5mm オプションハンドル: A type ㉒ モーターの軸径と適合オプションハンドルを示します。
 コネクタ  丸形20ピン(ヒロセ: RP13A-12RA-20PC) ㉓  ステージに使用されているコネクタの形状とピン数です。
 ステージ結線タイプ  V3  ㉔  ステージとステッピングモータ及び、フォトセンサとの結線形式です。
センサ基板型式 F-101(HOME,LIMIT) ㉕ ステージに使用するセンサーの型式です。
 価格  ¥205,000  ㉖  標準製品の価格を示します。 
 オーバーホール費 ※  ¥48,000 〜   ㉗  オーバーホールの費用を示します。 
 クリーングリス交換費  ¥36,000  ㉘  クリーングリスへの交換費用を示します。
 真空グリス交換費  ¥36,000  ㉙  真空グリスへの交換費用を示します。
 同形モータ交換費  ¥12,000 〜   ㉚  標準モータと取り付けサイズが同等のモータへの交換費用を示します。
 異形モータ交換費  ¥30,000 〜   ㉛  標準モータと取り付けサイズが異なるモータへの交換費用を示します。

※ オーバーホール費に部品代は含まれません。

 

案内方式

●アンギュラベアリング

アンギュラベアリングとは接触角を持ったベアリングで、一方向のアキシアル荷重または合成荷重を受けるのに適しています(図-1参照)。案内方式としてこのベアリングを用いる際は、対向方向に向かい合わせて使用しています。それにより、ラジアル方向とアキシアル方向の両方の荷重に対して剛性を持たせることが出来ます アンギュラベアリング

 

●クロスローラベアリング

クロスローラベアリングとは、90°のV溝を持つローラレースと円筒コロからなる案内方式です(図-2参照)。ローラレースの摺動面は、焼入れ研磨されて摺動面の平面度の精度が高く硬質に仕上げてあります。円筒コロはこの2本のローラレースに挟まれた空間に互い違いに配置されています。ステージが駆動する際には、ローラレース上を複数の円筒コロが転がるため、停止時から起動時への摩擦の変化(静止摩擦と動摩擦の差)が小さく、作動すべりが起こりにくくなっています。また、クロスローラベアリングは、線接触で荷重を支えるため、ボールガイド機構よりも剛性が高くなっています。 クロスローラベアリング

送り方式

●ウォーム & ウォームホイール

ウォーム&ウォームホイールは、高い精度で研削加工されたウォームホイールと精密研磨加工されたウォームから構成されています (図3). Figure-3

分解能

送り方式が「ウォーム&ウォームホイール」の回転ステージの分解能は、下記の計算式から求められます。

 

Δθs = Δθ / n・m

Δθs: 分解能(°)
Δθ: モーターの基本ステップ各(°)
n: ウォーム&ウォームホイールの減速比
m: マイクロステップ分割数

 

●タンジェントバー方式(ボールねじ)

回転軸から伸びたバーの先端にボールネジで接線方向に直線変位を与えることで回転運動を作っています。回転範囲は狭くな りますが、高分解能と耐久性の両立を兼ね備えています。

分解能

送り方式がタンジェントバー方式の回転ステージの分解能は、下記の計算式から求められます。

 

Δθs =tan-1 (Δθ・P / 360・R・m)

Δθs: R分解能
Δθ: モーターの基本ステップ角 (°
P: ボールネジのリード(mm)
R : タンジェントバーの長さ(mm)
m: マイクロステップの分割数


注) 原点(0°)からの計算式です。

最高速度

最高速度は、高速域でのモータとドライバのトルク特性に依存しますが、弊社ではドライバをハーフステップに設定し、10kpps で動作させたときの速度として定義しています。