自動ステージ共通ガイダンス
自動ステージを駆動させるには、ドライバ内蔵のモータコントローラかステッピングモータドライバが必要となります。 |
オプション
●モータ交換について ご要望に応じて、標準モータからご指定のモータに変更することが可能です。 * 交換モータの仕様によってはカタログスペックを満たせない事もあります。 * ステッピングモータ以外への交換の場合は、標準モータでの精度検査のみ行います。 ●交換費用 ① 同形モータ交換費:標準モータと同等の取り付けサイズのステッピングモータの場合。 ② 異形モータ交換費:標準モータと取り付けサイズが異なる場合。 *交換費用にはモータ費用は含まれておりませんので、お客様のご支給以外の場合は別途モータ費用が加算されます。 *異型モータ交換費は、モータ部円盤(ORG)無しの想定となっております。必要な場合は別途追加費用が加算されます。 (ORG機能は本体部のNORGをORGとして使用します) *異形モータ変更費は、モータの形状により別途費用が発生することがあります。必ずご検討モータの型式をご連絡願います。 |
グリス交換
ご要望に応じてステージのレール面に使用するグリスをクリーン対応グリス、または真空対応グリスに変更いたします。
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真空の区分と圧力範囲
区分 | 圧力範囲(Pa) | 圧力範囲(Torr) |
低真空 | 100kPa~100Pa | 760~1 Torr |
中真空 | 100Pa~0.1Pa | 1~10-3 Torr |
高真空 | 0.1Pa~10-5 Pa | 10-3 Torr~10-7Torr |
超高真空 | 10-5Pa~10-8 Pa | 10-7 Torr~10-10 Torr |
極高真空 | ≦10-8 Pa | <10-10 Torr |
真空単位換算表
〔Torr〕 | 〔atm〕 | 〔kgf/㎠〕 | 〔psi〕 | 〔Pa〕 | |
1Torr=1㎜Hg | 1 | 1.31579×10-3 | 1.35951×10-3 | 1.9337×10-2 | 1.33322×102 |
1atm | 760 | 1 | 1.03323 | 1.4695×10 | 1.01325×105 |
1kgf/㎠ | 7.3556×102 | 9.6784×10-1 | 1 | 1.4223×10 | 9.80665×104 |
1psi | 5.1715×10 | 6.8046×10-2 | 7.0307×10-2 | 1 | 6.8948×103 |
1Pa(=1N/㎡) | 7.5006×10-3 | 9.8692×10-6 | 1.01972×10-5 | 1.4503×10-4 | 1 |
ステージ取付方法
ステージを他のステージや定盤に組み付ける際は、テーブル面をずらすか、マイクロメータヘッドを十分に回転させてから行なって下さい。また、ステージの取り付け穴位置を合わせるために、各種スペーサをご用意してありますのでご利用下さい。 * テーブル面を戻す際に、バネの反動により深刻な障害を起こす恐れがありますので注意して作業を行なって下さい。 |
推奨取付け面の平面度(ステージテーブルサイズを基準として) 10μm以内/□30 ~□100mm 15μm以内/□130~□160mm 10μm以内/□200~□300mm |
ザグリ穴の首下寸法について
カタログ図面ではステージ取り付けの際に用いるザグリ穴の首下寸法を、「Shaft Length ** mm」と表記します(下図、左)。ザグリ穴が無く直接ネジを取り付ける場合はこの表記がなく、板厚が首下寸法となります(下図、右)。 |