真直度/垂直度

真直度

基準位置から一方向に順次位置決めを行い、それぞれの位置での垂直方向(vertical)、水平方向(horizontal)変位長さと基準位置との差を測定し、測定値の始点・終点を結んだ直線からの変位の最大差を真直度とします。
真直度は垂直成分と水平成分があります。それぞれの成分の最大値をステージの真直度としています。

 

<垂直成分>
水平成分

 

<水平成分>
垂直成分

垂直度(2方向)

テーブル上面に取り付けた変位計で、石スコヤの鉛直基準面をテーブルの移動範囲内で一定方向へなぞらせ、変位の最大値を垂直度としています。

 

垂直度成分  

 

実測イメージ