自動X・XYステージガイダンス

スペック表の見方

YA07A-R1
YA07A-R1
 スペック表  説明
 型式  YA07A-R1   ① 型式の名称です。
 勝手違い型式  YA07A-R1-RRR   ② 型式①に対する逆勝手仕様の型式です。
 テーブル面  70mm×70mm   ③ ステージ上面の大きさ。
 案内方式  精密クロスローラガイド  ④ ステージの案内方式。
 移動範囲  ±10mm   ⑤ 中心点を基準としてプラス、マイナスで表示します。 
 送り方式  研削ネジ, リード 0.5mm  ⑥ ステージの送り方式とネジピッチです。
 分解能   フル/ハーフ ステップ  0.5μm/0.25μm   ⑦ マイクロステップ分割数の違いによる、ステージの各分解能です。
 マイクロステップ(1/20分割)  0.025μm 
 最高速度  2.5mm/sec   ⑧ ステージが動作できる最高速度(ハーフステップ、10kpps時)です。
 累積リード誤差  ≦10μm以内/20mm   ⑨ 検査方法を参照して下さい。
 繰返し位置決め精度  ≦±0.3μm   ⑩ 検査方法を参照して下さい。
 ロストモーション  ≦1μm   ⑪ 検査方法を参照して下さい。
 真直度  水平  ≦0.5μmm/20mm   ⑫ ステージ下面に対するステージ上面の真直度です。
 垂直  ≦1μmm/20mm 
 バックラッシュ  ≦1μm   ⑬ 検査方法を参照して下さい。
 モーメント荷重  0.31 arcsec/N・cm   ⑭ ステージがモーメント荷重を受けた時の傾斜角度です。
 水平耐荷重  88.2N(9kgf)   ⑮ ステージ中央での搭載可能重量です。
 材質  アルミ合金  ⑯ 主に使用されている材料を示します。
 外観  白色仕上げ  ⑰ 外観の色や表面処理を示します。 
 自重  1.5kg   ⑱ 製品の重量です。
 直交度  ≦5μm/20mm   ⑲ 2軸組合せステージの直交度を示します。
 モータ  5相ステッピングモータ(オリエンタルモーター: PX533MH-B)定格電流 0.75A/相,基本ステップ角 0.36  ⑳ 使用されているアクチュエータの型式を示します。
 コネクタ  丸形20ピン(ヒロセ: RP13A-12RA-20PC)   ステージに使用されているコネクタの形状とピン数です。
 ステージ結線タイプ  JH    ステージとステッピングモータ及び、フォトセンサとの結線形式です。
 価格  ¥260,000    標準製品の価格を示します。 
 オーバーホール費 ※  ¥84,000 〜    オーバーホールの費用を示します。
 クリーングリス交換費  ¥60,000    クリーングリスへの交換費用を示します。
 真空グリス交換費  ¥60,000    真空グリスへの交換費用を示します。
 同形モータ交換費  ¥24,000 〜    標準モータと取り付けサイズが同等のモータへの交換費用を示します。
 異形モータ交換費  ¥60,000 〜    標準モータと取り付けサイズが異なるモータへの交換費用を示します。

※ オーバーホール費に部品代は含まれません。

 

案内方式

●クロスローラガイド

クロスローラガイドとは、90°のV溝を持つローラレースと円筒コロからなる案内方式です(図-1参照)。ローラレースの摺動面は焼入れ研磨仕上げにより平面度の精度が高く硬質に仕上げられています。円筒コロはこの2本のローラレースに挟まれた空間に互い違いに配置されています。ステージが駆動する際には、ローラレース上を複数の円筒コロが転がるため、停止時から起動時への摩擦の変化(静止摩擦と動摩擦の差)が小さく、作動すべりが起こりにくくなっています。また、クロスローラガイドは、線接触で荷重を支えるため、ボールガイド機構よりも剛性が高くなっています。このクロスローラガイドは、独自に設計された剛性が強く精度の高いものを使用し、ローラレースと円筒コロ間の与圧を精密に管理して高剛性を維持しています。 クロスローラガイド

 

●リニアガイド

リニアガイドとは、レールと循環するボールからなる案内方式です(図-2参照)。ボールはレールの溝中を転動し、ベアリング端に設けたエンドキャップですくい上げられ、ベアリング本体にある循環穴を通りもう片方の端に戻ります。レールは、摺動面の焼入れ研磨仕上げにより平面度の精度が高く硬質に仕上げられています。ボールは、摺動面の作る擬円筒の溝に挟まれて2点もしくは4点で保持されています。擬円筒面とベアリングは、互いに2点で接触するため、作動すべりが起こりにくい構造になっています。 リニアガイド

送り方式

●研削ネジ

研削ネジは、高い精度で研削加工された雄ネジとそれを受けるメネジから構成されています(図-3参照)。雄ネジとメネジは、お互いに広い面積にわたり接触するため、ステージが横方向の荷重を受けても移動することはありません。また、ボールネジに比べ一回転あたりの送り量を細かくでき分解能を高めることができます。 研削ネジ

●ボールネジ

ボールネジは、ネジ軸とナットの間にボールを挟み込んだ構造をしています(図-4)。ネジを回転させると、ボールがネジ軸とナットの間を転がりながら移動し、再びもとの場所に戻るように設計されています。ボールの転がりを利用するため、摩擦が小さく高い伝達効率が得られ、静摩擦と動摩擦の差が小さくスティックスリップが起こりにくくなります。
ゴシックアークガイド

ステージの分解能

ステージの分解能は、以下の計算から求められます。

 

ΔX = (p・Δθ/ 360m )

ΔX: 分解能 ※
Δθ: モータの基本ステップ角
p : 送りネジのピッチ
m: マイクロステップの分割数

 

※弊社では、基本ステップ角0.36°/pulseと0.72°/pulseの2種類のモータを使用し、送りネジは、ネジピッチ0.5mm~ 5mm/rev.を使用しています。また、カタログに記載されている最小分解能は、マイクロステップの分割数mを2(ハーフステップ)として計算された値です。

最高速度

最高速度は、高速域でのモータとドライバのトルク特性に依存しますが、弊社ではドライバをハーフステップに設定し、10kppsで動作させたときの速度として定義しています。

勝手違い

ご要望に応じてコネクタとセンサを左右反転して取り付ける、逆勝手仕様に対応いたします。また、XY方向の組合せステージにも標準ステージと逆勝手ステージの組合せに対応いたします。
標準 逆勝手

●XY組勝手一覧

型式の後ろに-***が追加されます。

 

マイクロサイド押し

NNN NNR NRN
NRR RNN RNR
RRR    

ステージ結線表

 型式  結線タイプ  センサ  モータ/定格電流値  基本ステップ角  コネクタ形状
 XA04A-R101   G-5C   F-106   PK513PB/0.35A   0.72°   丸形20ピン
 XA04A-R101-R   RG-5C   F-106R   PK513PB/0.35A   0.72°   丸形20ピン
 XA04A-R2   G-5   F-106   TS3664N16E2/0.75A   0.72°   丸形20ピン
 XA04A-R2-R   RG-5   F-106R   TS3664N16E2/0.75A   0.72°   丸形20ピン
 XA05A-R1   GH   F-106/F-107   PX533MH-B/0.75A   0.36°   丸形20ピン
 XA05A-R1-R   RGH   F-106R/F-107   PX533MH-B/0.75A   0.36°   丸形20ピン
 XA05A-R2   GH   F-106/F-107   PX533MH-B/0.75A   0.36°   丸形20ピン
 XA05A-R2-R   RGH   F-106R/F-107   PX533MH-B/0.75A   0.36°   丸形20ピン
 XA07A-R1   JH   F-101/F-107   PX533MH-B/0.75A   0.36°   丸形20ピン
 XA07A-R1-R   JH   F-101/F-107   PX533MH-B/0.75A   0.36°   丸形20ピン
 XA07A-R2   JH   F-101/F-107   PX533MH-B/0.75A   0.36°   丸形20ピン
 XA07A-R2-R   JH   F-101/F-107   PX533MH-B/0.75A   0.36°   丸形20ピン
 XA07A-R2H   G-5R   F-106   TS3664N17E4/0.75A   0.72°   丸形20ピン
 XA07A-R2H-R   RG-5R   F-106R   TS3664N17E4/0.75A   0.72°   丸形20ピン
 XA07F-R1   JH   F-101/F-107   PX533MH-B/0.75A   0.36°   丸形20ピン
 XA07F-R1-R   JH   F-101/F-107   PX533MH-B/0.75A   0.36°   丸形20ピン
 XA07F-R2   JH   F-101/F-107   PX533MH-B/0.75A   0.36°   丸形20ピン
 XA07F-R2-R   JH   F-101/F-107   PX533MH-B/0.75A   0.36°   丸形20ピン
 XA10A-R1   JH   F-101/F-107   PX535MH-B/0.75A   0.36°   角形20ピン
 XA10A-R1-R   JH   F-101/F-107   PX535MH-B/0.75A   0.36°   角形20ピン
 XA10A-R2   JH   F-101/F-107   PX535MH-B/0.75A   0.36°   角形20ピン
 XA10A-R2-R   JH   F-101/F-107   PX535MH-B/0.75A   0.36°   角形20ピン
 XA10A-R2H   G-5R   F-106   TS3664N17E4/0.75A   0.72°   丸形20ピン
 XA10A-R2H-R   RG-5R   F-106R   TS3664N17E4/0.75A   0.72°   丸形20ピン
 XA10F-R1   JH   F-101/F-107   PX535MH-B/0.75A   0.36°   角形20ピン
 XA10F-R1-R   JH   F-101/F-107   PX535MH-B/0.75A   0.36°   角形20ピン
 XA10F-R2   JH   F-101/F-107   PX535MH-B/0.75A   0.36°   角形20ピン
 XA10F-R2-R   JH   F-101/F-107   PX535MH-B/0.75A   0.36°   角形20ピン
 XA16A-R1   JH   F-101/F-107   PK566-B/0.75A   0.72°   角形20ピン
 XA16A-R1-R   JH   F-101/F-107   PK566-B/0.75A   0.72°   角形20ピン
 XA16A-R201   JH   F-101/F-107   PK566-B/0.75A   0.72°   角形20ピン
 XA16A-R201-R   JH   F-101/F-107   PK566-B/0.75A   0.72°   角形20ピン
 XA05A-L2   H4   F-107/F-108   PX533MH-B/0.75A   0.36°   丸形20ピン
 XA05A-L2-R   H4   F-107/F-108   PX533MH-B/0.75A   0.36°   丸形20ピン
 XA07A-L2   H4   F-107/F-108   PX533MH-B/0.75A   0.36°   丸形20ピン
 XA07A-L2-R   H4   F-107/F-108   PX533MH-B/0.75A   0.36°   丸形20ピン
 XA10A-L1   K4   F-104/F-105   PK566-B/0.75A   0.72°   角形20ピン
 XA10A-L1-R   K4   F-104/F-105   PK566-B/0.75A   0.72°   角形20ピン
 XA10A-L2   K4   F-104/F-105   PK566-B/0.75A   0.72°   角形20ピン
 XA10A-L2-R   K4   F-104/F-105   PK566-B/0.75A   0.72°   角形20ピン
 XA16F-L21   K3,H1   F-104/F-105/F-107   PK566-B/0.75A   0.72°   角形20ピン
 XA16F-L21-R   K3,H1   F-104/F-105/F-107   PK566-B/0.75A   0.72°   角形20ピン
 XA16F-L22   K3,H1   F-104/F-105/F-107   PK566-B/0.75A   0.72°   角形20ピン
 XA16F-L22-R   K3,H1   F-104/F-105/F-107   PK566-B/0.75A   0.72°   角形20ピン
 XA16F-L23   K3,H1   F-104/F-105/F-107   PK566-B/0.75A   0.72°   角形20ピン
 XA16F-L23-R   K3,H1   F-104/F-105/F-107   PK566-B/0.75A   0.72°   角形20ピン

※ 「勝手違い型式」により結線タイプの異なる機種は、セルが黄色になっております。