6軸マニピュレータ SMR-6B201 特徴と採用メリット
【特徴】
一体型の自動XYθステージを採用した6軸ユニットは超小型で省スペース。 【採用メリット】 各種電子部品の生産用/検査装置としてのアライメント(画像処理)として最適。 |
動画紹介
製品仕様
軸名称 | 移動範囲 | 最高速度 | 分解能(ハーフステップ) |
X | ±3mm | 10mm/sec | 1μm |
Y | |||
Z | ±2.5mm | 1.25mm/sec | 0.125μm |
θx | ±5° | 11.3°/sec | 約0.000378° |
θy | ±4.5° | 8.5°/sec | 約0.000282° |
θz | ±3° | 12.7°/sec | 0.00127° |
製品カタログ |
CADデータ |
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寸法図(図をクリックで拡大)