表面形状測定システム Dyvoceシリーズ
高精度形状測定システムDyvoce ( ダイボス) シリーズは、被測定ワークに合わせたレーザ変位計を用いる非接触形状測定システムです。使い易さを追求した機能、シンプルなユーザインタフェースを装備し、高精度ステージメーカならではの高い信頼性とモーションコントロール技術により、様々な測定を可能にします。 |
システム構成
アプリケーション
-Dyvoceシリーズでは、測定作業に役立つソフトウェアをご用意しております-
DyvoceMeasure (形状測定ソフトウェア)
ステージの位置決めをはじめ、豊富な駆動・測定機能により、測定パターンを実現させます。 専用解析ソフト・CSV 形式でのデータ保存が可能です。 |
SpiderMeasure (間引き測定)
クロスライン・インクライン・サークル状の様々なスキャン測定を組合わせることにより近似的に表面形状を測定する機能です。
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GridMaker (複数ワーク一括測定)
複数ワークの測定を一連の測定シーケンスとして完了させます。
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DyvoceAnalyzer (解析ソフトウェア)
取得データからの2D/3D 断面形状プロファイルよりグラフ表示・各種計測と、様々な解析を行います。
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SORI (SEMI 規格)
測定データから、SEMI 規格の【SORI】量の自動算出を行います。
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概略仕様
型式 | Dyvoce-3000 |
XY測定範囲 | 300mm×300mm |
真直度 | ≦1μm/30mm, ≦12μm/300mm |
XY 最小分解能 | 1μm |
水平耐荷重 | 5Kgf |
外形寸法 | 装置本体 W:800mm D:600mm H:1110mm ※ |
コントロールBOX W:222mm D:430mm H:450mm | |
質量 | 装置本体 約170Kg ※ |
コントロールBOX 約16Kg | |
電源電圧/ 最大消費電力 | 100V 50/60Hz / 約500W |
※ オプション架台を含む
ソフトウェア仕様
駆動 | 単軸駆動(ORG・ABS・REL・JOG)、単軸補間駆動(座標指定駆動、イメージクリック駆動) 指定座標駆動(Scan 開始・終了、Sample 取り出し位置)、Scan 範囲確認駆動 |
計測 | 制御パラメータ設定(座標入力、現在座標取得、測定Pitch、測定速度、移動速度) 1LineScan、矩形Scan、斜め矩形Scan、矩形内接円Scan、SpiderScan、 PointScan(PointMaker)、GridMaker、変位センサアナログ入力 |
解析 | 断面表示(XY、Free)、ZoomUp 表示、表示レンジ補正、傾き補正、ノイズカット処理、 3D 表示(モノクロ・カラー・ワイヤフレーム)、SEMI 規格SORI 計算 |
入力・出力 | 計測結果保存(KZV・CSV)、測定条件パラメータ(読込・保存)、 GridMaker パラメータ(読込・保存)、計測結果レポート出力機能、キャプチャ画像保存(2D・3D) |
カスタマイズ性
ラインナップ以外のステージサイズ(測定領域)に関しては、ご用途に応じてカスタマイズも対応可能です。 また、ワークに合わせた専用ホルダの製作も承っております。 |
サンプル測定
・御客様のサンプルをお預かりして、導入前のテスト測定を承っております。 ・弊社ショールームにお越しいただき、実際に測定を試していただくことも可能です。 詳しくは弊社営業部までお問い合わせ下さい。 |