KOSMOSシリーズ ピエゾドライバ VIRGO
モーターコントローラCosmonシリーズと制御支援ソフトChamonixを使用して
ピエゾ、ステッピングモータ、サーボモータなど異なる駆動系を一括制御が可能です。
構成例
特徴
・ミクロン台の高精度位置決めと、ナノオーダーの超高精度位置決めを一つのシステムで構築が可能となりました。
・ステッピングモータとピエゾの同期制御による超高精度モーション制御に最適。
・マルチコントローラ「ARIES」、ピエゾドライバ「VIRGO」の採用により、シンプルな構成を実現。
・ピエゾとモータの通信系統を一本化することにより、制御設計のコストを大幅削減。
・D/A変換機、ファンクションジェネレータは不要。
・10MHzの高速入力周波数に対応。
詳細はカタログにてご確認下さい | [ カタログ ] |
一般仕様
型番 | VIRGO |
外形寸法(mm) | W213.4xH89xD420 |
制御方式 | パルス列入力制御、PIDアナログフィードバック方式 |
制御軸数 | 1軸 |
入力電源 | AC90~240V 50Hz/60Hz |
消費電力 | 50VA MAX(AC100V供給時) |
使用環境 | 動作温度:10℃~40℃、動作湿度30~80%(結露なきこと) |
ウォームアップ時間 | 30分以上推奨 |
重量 | 3.6kg |
機能仕様
駆動機能 | CW/CCWパルス列入力をカウントし その値(0~65,535)に応じた電圧を出力してピエゾステージの 位置決めを行います |
入力パルス周波数 | 最大10MHz |
パルスカウント範囲 | -1~+65,536パルス(位置決めに使用する範囲は0~65,535) |
センサアンプ部 | センサタイプ:静電容量型 センサ出力電圧:0V~+10V センサモニタ(Sensor Monitor) 出力インピーダンス:100Ω |
PID制御部 | アナログ入力信号(ANin) 入力電圧:0V~+10V、入力インピーダンス:100kΩ 偏差出力信号(Err) 出力電圧:-10V~+10V、出力インピーダンス:100Ω |
ドライバ部 | ・ピエゾ駆動信号(Output) 出力電圧:-20V~+150V、出力インピーダンス:約32Ω、 出力電流:60mA(平均) ,500mA(ピーク<6msec)、ドライバ増幅率:15倍、 ドライバ出力リップルノイズ:1mVp-p(~100kHz帯域,容量性負荷5.4uF時)、 保護回路:負荷ショート検出,過熱保護(内部温度70度以上) ・モニタ信号(Mon) 出力電圧:-1.33V~+10V、出力インピーダンス100Ω |
その他出力信号 | ・リミット信号(CWLS,CCWLS) オープンコレクタ出力(絶対最大定格80V,30mA) ・アナログ出力信号(ANout) 出力電圧:0V~+10V |
入力パルス信号 | ・CWパルス,CCWパルス信号: フォトカプラ入力,7.5~14mA |
表示モニタ | POWER ON/OFF状態、センサ(CWリミット,CCWリミット)状態、非常停止状態 |
ピエゾドライバ
ピエゾステージに電圧を印加し駆動させるための低ノイズドライバです。
オープンループで動作させる場合や、大きな電流を必要とする高速駆動時の外部電源として使用できます。
【電圧出力方法】
①マニュアル | |
フロントパネルの "BIAS ADJUSTMENT" ツマミを回して手動で0~150Vを出力できます 出力電圧値は表示器に示されます※。 ※表示器を装備した機種のみ |
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②外部制御 | |
リアパネルのInput端子にアナログ電圧(0~10V)を入力することで、15倍に増幅された0~150Vを出力します。 任意の波形や周波数で駆動できます。 |
【ラインナップ】 |
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出力電流の違いにより標準容量、中容量、大容量の3タイプをラインナップしています。 接続するピエゾステージの静電容量や駆動条件に合わせて選定できます。 |
型番 |
PH103 | PH301 | PH601 | |
標準容量 | 中容量 | 大容量 | ||
接続可能軸数 | 1軸 | |||
入力電圧 | 0~10V | |||
出力電圧 | 0~150V | |||
増幅度 | 15倍 | |||
出力電流 | 平均 | 40mA | 1A | 2A |
ピーク | 500mA | ±5A | ±10A | |
出力リップルノイズ | 1mVp-p | 5mVp-p | 5mVp-p | |
モニタ表示 | オプション | 3.5桁表示 | 3.5桁表示 | |
電 源 | AC100V~120V/ AC200V~240V 切替式 |
AC100V | AC100V | |
消費電力 | 30VA | 230VA | 500VA | |
外形寸法 | W210×D252×H96mm | W260×D314×H139mm | W320×D384×H156mm | |
本体質量 | 2.8kg | 7.5kg | 12.8kg |
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