【特 徴】
・『標準直動ステージ』は、単軸から最大3軸まで豊富なラインナップを揃えたピエゾステージの基本シリーズです。
・ 圧電素子の高速応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速高分解能で再現性に優れた位置決が可能です。
・ 各軸とも機構の違いにより、「直動駆動機構」と「変位拡大機構」に分かれています。
【直接駆動機構】
・ 圧電素子が直接移動テーブルを動かす機構です。
・ ストロークを抑えることで分解能、応答性に優れています。
・ 剛性が高く、負荷が大きくても安定した位置決めができます。
【変位拡大機構】
・ 圧電素子の伸長を機械的に増幅する変位拡大機構を介した構造を備えています。
・ 拡大率により、直接駆動の数倍~十数倍のストロークが達成できます。
・ 内蔵変位センサによるフィードバック制御で、高い再現性で位置決めが行えます。
【用 途】
・ 半導体、FPD検査装置 | ・ 干渉系機器 | ・ HDDテスタ |
・ 分析機器 | ・ レーザ光学系アライメント | ・ ナノメータポジショニング |
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X軸 | 型 番 | ストローク [μm] | 分解能 [nm] | 繰り返し精度 [nm] | 共通周波数 [Hz] | 本体サイズ [mm] |
| 直 接 駆 動 機 構 | PS1H25-006U | 6 | 1 | ±1 | 13000 | 25×30×16 |
PS1H35-006U | 6 | 1 | ±1 | 9700 | 35×35×16 |
PS1H45-012U | 12 | 1 | ±1 | 6200 | 45×45×16 |
PS1H60F-012U | 12 | 1 | ±1 | 4100 | 60×60×20 |
PS1H40F-020U | 20 | 1 | ±1 | 4100 | 48×60×13.5 |
PS1H60-020U | 20 | 1 | ±1 | 3300 | 60×60×16 |
PS1H80-030U | 30 | 1 | ±1 | 1900 | 80×80×16 |
PS1H80F-030U | 30 | 1 | ±1 | 1900 | 80×80×20 |
| 変 位 拡 大 機 構 | PS1L45-030U | 30 | 1 | ±1 | 1500 | 45×50×20 |
PS1L40-050U | 50 | 2 | ±2 | 970 | 40×40×15 |
PS1L60-060U | 60 | 2 | ±2 | 1300 | 60×70×20 |
PS1L40-100U | 100 | 2 | ±2 | 510 | 40×45×15 |
PS1L65-250U | 250 | 10 | ±10 | 360 | 65×65×15 |
PS1L66-500U | 500 | 20 | ±20 | 200 | 66×66×17 |
PS1L80-700U | 700 | 30 | ±30 | 106 | 80×80×20 |
XY軸 | 型 番 | ストローク [μm] | 分解能 [nm] | 繰り返し精度 [nm] | 共通周波数 [Hz] | 本体サイズ [mm] |
| 直 接 駆 動 機 構 | PS2H60-012U | 12/12 | 1/1 | ±1/±1 | 2000 | 60×80×25 |
PS2H95-012U | 12/12 | 1/1 | ±1/±1 | 3800 | 95×95×25 |
PS2H60-030U | 30/30 | 1/1 | ±1/±1 | 1600 | 60×80×30 |
PS2H110-030U | 30/30 | 1/1 | ±1/±1 | 3400 | 110×110×25 |
| 変 位 拡 大 機 構 | PS2L50-050U | 50/50 | 2/2 | ±2/±2 | 420 | 50×50×25 |
PS2L92-050U | 50/50 | 2/2 | ±2/±2 | 1300 | 92×92×25 |
PS2L100-080U | 80/80 | 2/2 | ±2/±2 | 480 | 100×100×30 |
PS2L50-100U | 100/100 | 2/2 | ±2/±2 | 280 | 50×50×25 |
PS2L60-250U | 250/250 | 10/10 | ±10/±10 | 120 | 60×60×26 |
Z軸 | 型 番 | ストローク [μm] | 分解能 [nm] | 繰り返し精度 [nm] | 共通周波数 [Hz] | 本体サイズ [mm] |
| 直 接 駆 動 機 構 | PSVH35-006U | 6 | 1 | ±1 | 3500 | 35×35×26 |
PSVH45-012U | 12 | 1 | ±1 | 2600 | 45×45×36 |
PSVH60F-012U | 12 | 1 | ±1 | 1600 | 60×60×40 |
PSVH80F-030U | 30 | 1 | ±1 | 1200 | 80×80×60 |
| 変 位 拡 大 機 構 | PSVL45-060U | 60 | 2 | ±1 | 570 | 45×45×32 |
PSVL45F-100U | 100 | 2 | ±1 | 300 | 45×45×32 |
PSVL60-100U | 100 | 2 | ±1 | 380 | 60×60×32 |
PSVL60F-100U | 100 | 2 | ±1 | 270 | 60×60×38 |
PSVL60F-150U | 150 | 5 | ±1 | 190 | 60×60×32 |
PSVL80F-300U | 300 | 10 | ±1 | 180 | 80×80×38 |
XYZ軸 | 型 番 | ストローク [μm] | 分解能 [nm] | 繰り返し精度 [nm] | 共通周波数 [Hz] | 本体サイズ [mm] |
| 直接駆動機構 |
PS3H70-020UA | 20/20/12 | 1/1/1 | ±1/±1/±1 | 970 | 70×80×65 |
PS3H120-030U | 30/30/30 | 1/1/1 | ±1/±1/±1 | 740 | 120×120×30 |
変位拡大機構 |
PS3L100-080UA | 80/80/20 | 2/2/1 | ±2/±2/±1 | 400 | 100×100×30 |
PS3L68-100U | 100/100/100 | 2/2/2 | ±2/±2/±2 | 250 | 68×68×40 |