DYVOCE(ダイボス)シリーズ 手動機 枚葉型

枚葉型表面形状測定装置 DY-3100XY

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■ 装置の概要

非接触表面形状・厚さ測定装置 DYVOCE(ダイボス)シリーズは、
被測定試料に合わせた変位/厚さ測定センサを用いる 
非接触形状測定システムです。
使い易さを追求した機能、シンプルなユーザーインターフェースを装備し、
高精度ステージメーカならではの高い信頼性と 
モーションコントロール技術により、様々な測定を可能にします。

■ 製品紹介動画

■ 形状/厚さ用の数多くの測定センサが搭載可能

様々な変位/厚さ測定用のセンサが搭載可能ですので、お問い合わせください。

■ 様々な材質のサンプルの測定実績

下のリストに記載の通り様々な材料の測定実績がございます。
また、サンプル測定を随時実施しておりますので、お問い合わせください。

☆ Measurement Examples

Legend for Mesurment Items: ◎:Optimum, ◎:Possible,△:Partially Possible,✕:Wrong
Category Material / Article Status Size Mesurment Items※1※2
XY T Surface Profile SORI BOW WARP Thickness TTV GBIR
Semiconductor
(Wafer)
Si
SIC
GaN
Sapphire(Al2O3)
Ga2O3
GaAs
Si3N4
LT(LiTaO3)
LN(LiNbO3)
Glass
Crystal(SiO2)
InP
AlN
Diamond(C)
CdTe
Polished
Grinded
CoinRoll
As Slice
Etched
Patterned
Laminated
Bonded
CVD
TAIKO
MEMS
<Φ12inch <□300[mm] 1<T<800 [um]
Semiconductor
(Plastic)
Plastic Film
Redin
Resist
Glue
Laminated
Bonded
<Φ12inch <□300[mm] 1<T<2000 [um]
Semiconductor
(Other)
Cu-Mo
Cu-W
AlN
Metal Plate
Ceramic Plate
<Φ12inch <□300[mm] > 100 [um] ※2 ※2 ※2 ※2
Device Heat Sink
Metal Component
Cover Glass
Ceramic Plate
...etc.
IGBT
SIC Power Module
FPD Module
SOFC Parts
Suction Plate
...etc.
<□300[mm] > 50 [um] ※2※3 ※2※3 ※2※3 ※2※3
Other Glass Epoxy
Metal
Ceramic Plate
...etc.
Substrate
Metal Component
Brake Friction Pad
...etc.
<□300[mm] > 200 [um] ※2 ※2 ※2 ※2

※1 材質・表面状態により計測可能な項目が変わる場合がございます。サンプル測定が可能ですので、お問い合わせください。
※2 特注装置を設計・製作することにより、通常は計測出来ない項目でも計測が可能となる場合がございますので、お問い合わせください。
※3 ガラスなどの透明体等の可視光・近赤外光が透過可能な材質の場合は、測定領域の厚さが計測可能な場合がございますので、お問い合わせください。

■ □300mm測定領域まで対応可能な様々な測定装置

〇 様々なワークテーブル

□300mmまでの大きさの角型試料や12inch ウェハまで測定可能なワークテーブルを 既にオプションで御用意しています。 また、下記のワークテーブル以外にも特注での設計製作が可能ですので、お問い合わせください。

☆すぐにご選択可能なワークテーブル

M6 Matrix Work Table
M6 Matrix Work Table
3 Point Supporting Table
3 Point Supporting Table

Vacuum Suction Plate
Vacuum Suction Plate
Porous Suction Plate
Porous Suction Plate
■ 複数領域の測定やライン測定・間引き測定に対応

〇 計測ソフトウェア

豊富な測定駆動を有する制御駆動ソフト DyvoceMeasure(ダイボスメジャー)では、 ステージの位置決めをはじめ、豊富な駆動・測定機能により、測定パターンを実現させます。 専用解析ソフト形式・CSV 形式でのデータ保存が可能です。

Dyvoce-Measure
Dyvoce Measure

〇 間引き測定

クロスライン・インクライン・サークル上の様々なスキャン測定やこれらの組み合わせにより、 間引き測定用の駆動パターンを行い、近似的に表面形状を測定します。 全面スキャンに対して圧倒的な測定時間の短縮となります。

Dyvoce-Measure(Spider Scan)
Spider Scan

〇 複数ワーク一括測定(Grid Maker)

様々なワーク形状・測定パラメータ・配置の組み合わせで複数ワークの測定を 一連のシーケンスとして測定を行います。 設定したプログラムごとの個々のデータを順次保存していきます。

Dyvoce-Measure(Grid Scan)
Grid Scan
■ 安全対策が標準装備

〇 安全対策(筐体カバー)

装置の安全対策として、装置本体に金属製の装置カバーとライトカーテンによる安全対策 および警告灯による装置状態の表示を標準にて搭載しています。 また、装置カバーの壁面を透明アクリルに変更することや装置カバーをなくし 非常停止ボタンのみの仕様に変更することが可能です。

Safty Cover
Normal Type Safty Cover
■ semi規格測定などの解析項目に対応

〇 解析ソフトウェア

測定データを用いての2D/3D 断面形状プロファイルの等の各種計測や Semi規格の「SORI」・「Bow」・「Warp」・「GBIR」などの様々な解析を行います。 CSV ファイルへのエクスポートや報告書作成に便利なレポート出力も可能です。

Analyzer
Dyvoce Analyzer
Semi
Semi Calculation

〇 自重たわみ補正

測定データを用いてウエハの自重起因のたわみを補正することにより、ウエハ本来のたわみデータを算出できます。 特に薄いウエハ・大口径ウエハに有効です。

Gravity Correction
Gravity Correction

☆両面差分モード

ウエハの裏表両面の表面形状を測定し、そのデータの差分から自重たわみの影響を消した補正データをつくります。

Sample Wafer Inversion Method
Sample Wafer Inversion Method

☆理想モデル差分モード

有限要素法により作成した自重たわみを含むウエハの理想モデルと測定データの差分から 自重たわみの影響を消した補正データをつくります。

Theoretical Modeling Method
Theoretical Modeling Method
■ 基準ゲージを用いた補正機能

〇 基準平面基板による補正(マッピング補正)

基準平面基板の表面高さデータを事前に測定し、補正データとして使用します。 その補正データを実際のワークの測定データから差し引くことにより、 スキャンステージの持つ微小な揺動を補正して、ワークの真値に近づけます。 特に反りの小さなワークの測定に有効です。

Mapping Correction
Mapping Correction
■ 成膜後の応力測定アプリケーション(オプション)

〇 膜応力分布の測定ソフトウェア

成膜前後のSORI形状の測定データを用いて、ウェハの直径方向に対して解析ラインを指定し、 それぞれのデータの曲率半径と設定パラメータに応じた膜応力の分布を算出します。 また、断面ごとのプロファイルデータの算出やレポート出力もおこなえます。

FT-Stress Setting
Parameter Setting
FT-Stress Result
Stress Result

■ 枚葉型表面形状測定装置 DY-3100XY データシート

2020/12/01 現在
製 品 名

非接触 表面形状/厚さ測定装置

型 式

DY-3100XY-xxx

外 観
DY-3100XY Outline Drawing
Type:Normal Safty Cover + Monitor/Keyboard Arm
測定項目

表面形状・厚さ・Semi規格測定(SORI/ BOW/WARP/GBIR 他)

測定対象

Si / SiC / GaN / Ga2O3/ LT / LN / GaAS 等の半導体材料(ウェハ)及び 接合ウェハのそり・厚さ
ガラスや石英 (SiO2) 等の透明体材料のそり・厚さ
フィルム / レジン / 接着剤等の樹脂材料のそり・厚さ
金属製の部品・電子基板の平坦度

対応環境

クリーンルーム ISO Class 6 (ISO 14644-1)

最大測定範囲

□300 [mm]

最小分解能 (XY)

0.001 [mm] (ただし、最大点数 2,500万点 = 5,000 点 x 5,000 点)

(Z)

0.01 [um]※1※2

測定測度 (最大※3/ 最小)

200 mm/s※3/ 1mm/s

移動速度 (最大 / 最小)

200 mm/s / 1mm/s

主な構成

◎ 装置本体(測定機構 / 変位センサ※4 / 制御機器 / PC / 安全対策カバー)
◎ 制御コンソール(モニタ / キーボード / マウス)
◎ 測定ソフトウェア
◎ その他付属品

オプション ワークホルダ※5

● 12inchウェハ対応 3点支持ホルダ
● 12inchウェハ対応 吸着ホルダ
● 12inchウェハ対応 多孔質吸着ホルダ
● M6 マトリクスタップ 付き ブレッドボードテーブル
● その他特注ホルダ/テーブル※5

安全カバー

○ 透明アクリル仕様安全カバー
○ 安全カバー無し

コンソール

◆ モニター / キーボードスタンド
◆ ラックテーブル

電源仕様※6

AC100 V ~ 120 V※7、-15 % ~ +10 %

消費電力

1500W

サ イ ズ

W:1203 × D:902 × H:1439(表示灯 1958)[mm] モニタ、キーボードを除く

重 量

約 450kg

価格/納期

ASK

※1 測定最小分解能は、搭載されたセンサにより変更になる場合があります。
※2 本装置は、輸出該当品となります。
※3 測定測度(最大)は、搭載されたセンサのサンプリング周期により遅くなる場合があります。
※4 主な搭載可能な変位センサの詳細はお問い合わせください。
※5 ワークホルダは、表中の仕様以外にも特注で製作が可能です。詳細はお問い合わせください。
※6 ユーティリティーは、AC電源のみ必要となります。
※7 AC200V仕様を製作することも可能ですので、詳細はお問い合わせください。

■ お問合せフォーム

各項目を入力後、画面下の【 内容確認 】ボタンを押していただければ送信確認画面に遷移します。


御客様情報の入力

氏 名


(ex.) 神津 太郎 or Kohzu Taro

氏 名(全角カナ):


(ex.) コウヅ タロウ
全角カナで入力して下さい。

会社名


(ex.) 神津精機株式会社 or Kohzu Precision Co., Ltd.

所 属


(ex.) 営業部営業3課 or Sales Divition, Groupe-3

TEL

(ex.) 012-345-6789 or 0123456789

E-Mail


(ex.) xxxxxxxxxx@yyyyy.zzz

郵便番号

(ex.) 123-4567 or 1234567

住 所


その他御問合せ内容:



必須項目となります。

■ 見積依頼フォーム

各項目を入力後、画面下の【 内容確認 】ボタンを押していただければ送信確認画面に遷移します。

Insturuments Appearance
装置の外観

装置仕様の入力

ベース装置の選択:


装置コンソールの選択:


ワークホルダの選択:




変位センサの選択:


測定物の仕様:


(ex.) Si , SiC , GaN , アルミ板 ...etc.

(ex.)12inch-t0.75mm , 150x100x10(mm) ...etc.

(ex.) Flatness, Thickness, SORI, Bow, GBIR, TTV ...etc.
サンプル測定:

設置環境の選択:


設置する場所


御納入希望時期


必須項目となります。
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氏 名(全角カナ):

(ex.) コウヅ タロウ
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会社名


(ex.) 神津精機株式会社 or Kohzu Precision Co., Ltd.

所 属


(ex.) 営業部営業3課 or Sales Divition, Groupe-3

TEL

(ex.) 012-345-6789 or 0123456789

E-Mail

(ex.) xxxxxxxxxx@yyyyy.zzz

郵便番号

(ex.) 123-4567 or 1234567

住 所


その他御問合せ内容:



必須項目となります。

■ サンプル測定依頼フォーム

各項目を入力後、画面下の【 内容確認 】ボタンを押していただければ送信確認画面に遷移します。


サンプル測定情報の入力

測定物の仕様:


(ex.) Si , SiC , GaN , アルミ板 ...etc.

(ex.)12inch-t0.75mm , 150x100x10(mm) ...etc.

(ex.) Flatness, Thickness, SORI, Bow, GBIR, TTV ...etc.
サンプル測定:

測定環境の選択:


レポート希望時期


必須項目となります。
御客様情報の入力

氏 名

(ex.) 神津 太郎 or Kohzu Taro

氏 名(全角カナ):

(ex.) コウヅ タロウ
全角カナで入力して下さい。

会社名


(ex.) 神津精機株式会社 or Kohzu Precision Co., Ltd.

所 属


(ex.) 営業部営業3課 or Sales Divition, Groupe-3

TEL

(ex.) 012-345-6789 or 0123456789

E-Mail

(ex.) xxxxxxxxxx@yyyyy.zzz

郵便番号

(ex.) 123-4567 or 1234567

住 所


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