開口付きステージ
【特 徴】
・『開口付きステージ』は、移動テーブル中央に開口部(透過穴)を有したラインナップです。
・ レーザを透過させる光学デバイスの微調アライメントや、顕微鏡や分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピングなどに適しています。
【小開口から大開口まで対応】
・ 小型デバイスに適したコンパクトな開口タイプから、大きなパネルをアライメントできる大開口タイプも揃えています。 ・ 高精度フィードバック制御により、スムーズで正確な走査や円駆動が可能です。 |
【用 途】
・ 走査型プローブ顕微鏡 SPM,AFM | ・半導体、FPD関連装置 | ・ 顕微鏡試料テーブル |
・ 分光分析機 | ・露光装置 | ・ マッピング測定 |
【ラインナップ】 | 詳細はカタログにてご確認下さい | [ カタログ ] |
価格についてのお問合せはコチラから | [ お問合せ ] |
X軸 | 型 式 | ストローク [μm] | 分解能 [nm] | 繰り返し精度 [nm] | 共通周波数 [Hz] | 本体サイズ [mm] |
PK1L60-030U | 30 | 1 | ±1 | 2800 | 60×70×16 | |
PK1L45-100U | 100 | 2 | ±2 | 490 | 45×45×16 |
XY軸 | 型 式 | ストローク [μm] | 分解能 [nm] | 繰り返し精度 [nm] | 共通周波数 [Hz] | 本体サイズ [mm] |
| PK2H | |||||
PK2H100-030U | (X,Y)30 | 1 | ±1 | 2500 | 100×100×25 | |
PK2H130-030U | (X,Y)30 | 1 | ±1 | 1500 | 130×130×30 | |
PK2H150-050U | (X,Y)50 | 2 | ±1 | 1200 | 150×150×30 | |
PK2L | ||||||
PK2L100-080U | (X,Y)80 | 2 | ±2 | 530 | 100×100×30 | |
PK2L64-100U | (X,Y)100 | 2 | ±2 | 300 | 64×64×30 | |
PK2L76F-100U | (X,Y)100 | 2 | ±2 | 240 | 76×76×32 | |
PK2L130-100U | (X,Y)100 | 2 | ±2 | 580 | 130×130×30 | |
PK2L150-100U | (X,Y)100 | 2 | ±2 | 420 | 150×150×30 | |
PK2L150-200U | (X,Y)200 | 5 | ±2 | 370 | 150×150×30 | |
PK2L150-300U | (X,Y)300 | 10 | ±10 | 240 | 150×150×30 | |
PK2L280-200U | (X,Y)200 | 5 | ±5 | 150 | 280×280×28 |