開口付きステージ

【特  徴】

・『開口付きステージ』は、移動テーブル中央に開口部(透過穴)を有したラインナップです。
・ レーザを透過させる光学デバイスの微調アライメントや、顕微鏡や分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピングなどに適しています。


【小開口から大開口まで対応】

・ 小型デバイスに適したコンパクトな開口タイプから、大きなパネルをアライメントできる大開口タイプも揃えています。
・ 高精度フィードバック制御により、スムーズで正確な走査や円駆動が可能です。
略図


【用  途】

・ 走査型プローブ顕微鏡 SPM,AFM ・半導体、FPD関連装置 ・ 顕微鏡試料テーブル
・ 分光分析機 ・露光装置 ・ マッピング測定 
     
     
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X軸 型 式 ストローク
[μm]
分解能
[nm]
繰り返し精度
[nm]
共通周波数
[Hz]
本体サイズ
[mm]
XY軸 PK1L60-030U 30 1 ±1 2800 60×70×16
PK1L45-100U 100 2 ±2 490 45×45×16

 

XY軸 型 式 ストローク
[μm]
分解能
[nm]
繰り返し精度
[nm]
共通周波数
[Hz]
本体サイズ
[mm]

 

XY軸

PK2H
PK2H100-030U (X,Y)30 1 ±1 2500 100×100×25
PK2H130-030U (X,Y)30 1 ±1 1500 130×130×30
PK2H150-050U (X,Y)50 2 ±1 1200 150×150×30
PK2L
PK2L100-080U (X,Y)80 2 ±2 530 100×100×30
PK2L64-100U (X,Y)100 2 ±2 300 64×64×30
PK2L76F-100U (X,Y)100 2 ±2 240 76×76×32
PK2L130-100U (X,Y)100 2 ±2 580 130×130×30
PK2L150-100U (X,Y)100 2 ±2 420 150×150×30
PK2L150-200U (X,Y)200 5 ±2 370 150×150×30
PK2L150-300U (X,Y)300 10 ±10 240 150×150×30
PK2L280-200U (X,Y)200 5 ±5 150 280×280×28


Z 型 式 ストローク
[μm]
分解能
[nm]
繰り返し精度
[nm]
共通周波数
[Hz]
本体サイズ
[mm]
Z軸 PKVH
PKVH60-012U 12 1 ±1 2500 60×60×36
PKVL
PKVL64F-100U 100 2 ±2 480 64×64×30
PKVL100-100U 100 2 ±2 480 100×100×30
PKVL84F-300U 300 10 ±10 210 84×84×30


 

 

 

 

 

  

開口付きステージ