超高精度アライメントステージ RST Aligner
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高い追従性 0.1μm±20nmを実現
スケール等のフィードバックを掛けずに
サブミクロンでのステップを綺麗に刻みます。
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バランスの取れた正三角形配置
RST Aligner最大の特徴である駆動ユニットの配置。この軸配
置がアライメントに必須の高精度な微少駆動を可能にします。
制御に必要な計算式は無償提供いたします。
駆動イメージ
![](/fileadmin/_processed_/csm_RST-move_8643722d91.png)
![](/fileadmin/_processed_/csm_RST-Actuator_786b537bdf.png)
専用設計の駆動ユニット
RST Aligner用に専用設計した駆動ユニット。モンブランシ
リーズで培った技術の粋を集約。高い分解能設定でも、感度良
く追従します。
特徴
大口径透過穴
構造上、透過穴サイズに制約をもたらすベアリングを使用していない為、大口径の透過穴を設けることが可能です。
テーブルサイズ自在
駆動部をユニット化したことにより、搭載ワークに応じて、テーブルサイズ、形状を自由に設計できます。
Z機構の追加可能
貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加のご提案も可能です。
その他、カスタム対応
◦ストローク変更
◦高耐荷重仕様
◦外観色の変更
仕様等、お気軽にご相談ください。
用途例
- ウエハ結合装置
- 露光装置
- 各種基板の通電検査装置
- サブミクロンの各種アライメント
システム構成
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寸法図
![](/fileadmin/_processed_/csm_RST-Drawing_18efde2dec.png)
仕様
型式 | RSTA-005 |
サイズ | φ400mm (突起含まず) |
透過穴 | φ230mm |
耐荷重 | 60kg |
材質 | アルミ合金 |
外観 | 白色アルマイト |
モータ型式 | PK523HPB-H50S(オリエンタルモーター) |
分解能 | X:20nm Y:約11.55nm θ:約0.01366″(マイクロステップ1/4動作時) |
ストローク | XY:±3mm θ:2° |