回転・チルトステージ
【特 徴】
・『回転・チルトステージ』は、ピエゾ駆動による微小な角度調整が行えるラインナップです。
・最大角度変位量は小さいながら、高速応答性、高い位置再現性といった特性を備えておりレーザ光スキャニング、ミラーアライメント、面合わせなどに最適です。
【色々な回転軸を持つタイプを揃え、目的に応じて選定可能】
【用 途】
・ レーザ光軸調整 | ・精密平行面合わせ | ・ レーザ加工用ミラーアライメント |
・ 光学デバイス微小角調整 | ・チルト調整 | ・ キャビティ長調整 |
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光学ミラー用 | 型 式 | 最大振れ角 | 分解能 | 共通周波数 [Hz] | 本体サイズ [mm] | |
PT1M36-500S | 500秒 ≒2.4mrad | 0.05秒 ≒0.24μrad | 8000 | 36×42×29 | ||
PT2M40-800S | 500秒 ≒3.9mrad | 0.05秒 ≒0.24μrad | 330 | 40×60×45 |
ゴニオ | 型 式 | 最大振れ角 | 分解能 | 共通周波数 [Hz] | 本体サイズ [mm] | |
PT1G100-300S | 300秒 ≒1.5mrad | 0.05秒 ≒0.10μrad | 260 | 100×100×30 | ||
PT1G100-500S | 500秒 ≒2.4mrad | 0.05秒 ≒0.24μrad | 260 | 100×100×30 |
傾斜+昇降 | 型 式 | 最大振れ角 | 分解能 | 共通周波数 [Hz] | 本体サイズ [mm] | |
PT3V80F-400S | ±400秒 ≒±1.9mrad (Z)100μm | 0.02秒 ≒0.10μrad (Z)2nm | 270 | 80×80×32 | ||
PT3V100-800S | ±800秒 ≒2.4mrad (Z)300μm | 0.04秒 ≒0.19μrad (Z)10nm | 230 | 100×100×32 |