手動X/XYステージ モンブランシリーズ ※詳細は型式をクリックして下さい
YM05A-S3-CL
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備考・特徴
●精密クロスローラガイドを使用した手動Xステージです。
●本体材質はアルミ白色仕上げを採用。
●サイド押しタイプはコンパクトで狭いスペースでの使用に最適です。
●「Fine Pitch Positioner FPP03-13」を搭載した高分解能タイプです。
●「FPP03-13」は神津精機が独自設計開発したサブミクロン対応のマイクロメータヘッドです。
●本体材質はアルミ白色仕上げを採用。
●サイド押しタイプはコンパクトで狭いスペースでの使用に最適です。
●「Fine Pitch Positioner FPP03-13」を搭載した高分解能タイプです。
●「FPP03-13」は神津精機が独自設計開発したサブミクロン対応のマイクロメータヘッドです。
メカ仕様
型式 | YM05A-S3-CL |
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勝手違い | YM05A-S3-RRR-CL |
テーブル面 | 50mm×50mm |
案内方式 | 精密クロスローラガイド |
移動範囲 | 粗動 13mm, 微動 0.3mm |
真直度 | ≦2.0μm/13mm |
最小読み取り | 粗動 約10μm/目盛, 微動 約0.5μm/目盛 |
モーメント荷重 | 0.61 arcsec/N・cm |
水平耐荷重 | 39.2N (4kgf) |
材質 | アルミ合金 |
外観 | 白色仕上げ |
自重 | 0.6 kg |
直交度 | ≦20μm/13mm |
駆動方式 | 精密ポジショナー FPP03-13(13mm) |
オーバーホール費 |
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¥ 30,000~ |
オプション・グリス交換 | |
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クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます) | ¥ 24,000 |
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます) | ¥ 24,000 |
オプション・モータ交換 | |
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同形モータ交換費 | ~ |
異形モータ交換費 | ~ |
アクセサリ | |
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アクセサリ | スペーサ等のアクセサリについてはこちらをご覧ください |