自動X/XYステージ モンブランシリーズ

YA16F-L21101

価格(JPY)
¥ 750,000
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ステージ結線図

備考・特徴

●本体部材質に鉄、送り⽅式にボールネジを採⽤することにより⾼剛性と精密位置決めを同時に実現。
●各種測定機器への利⽤に最適。
●オプションのテーブル(アルミ)は2種類のマトリックスをご⽤意。
●モーター5本リード線⽤ケーブルをご使⽤ください。
※ 累積リード誤差、真直度(垂直)は、単軸での保証精度です。
●2相ステッピングモーター仕様も承ります。[型式] YA16F-L21101-BM 追加費⽤¥80,000
※ 2相モーター仕様の場合は、コネクタ型式が変わります。
メカ仕様
型式YA16F-L21101
勝手違いYA16F-L21101-RRR
テーブル面160mm×160mm
案内方式精密リニアガイド
移動範囲± 50mm(上軸) , ± 50mm(下軸)
送り方式ボールネジ, リード 5.0mm
分解能 フル/ハーフ10μm / 5μm
分解能 マイクロステップ (1/20分割)0.5μm
最高速度50mm/sec
累積リード誤差≦15μm/100mm(上軸) , ≦15μm/100mm(下軸)
繰返し位置決め精度≦±0.5μm
ロストモーション≦ 5μm
水平真直度≦ 4μm/100mm(上軸) , ≦ 4μm/100mm(下軸)
垂直真直度≦ 2μm/100mm(上軸) , ≦ 2μm/100mm(下軸)
バックラッシュ≦2μm
モーメント荷重0.04 arcsec/N・cm
水平耐荷重 274.4N (28kgf)
材質鉄 (テーブル: アルミ合⾦)
外観⿊⾊仕上げ
自重23kg
直交度≦10μm
電気仕様
使用モータ5相ステッピングモーター(Oriental Motor:C087Q-9215P)
2相ステッピングモーター(Oriental Motor: PK264JDB)
モーター軸径︓Φ8mm , オプションハンドル︓B type
コネクタ型式5相モーター︓丸形20ピン (ヒロセ: RP13A-12RA-20PC)
2相モーター︓⾓形20ピン (ヒロセ: PC-1620, P-1620A-STA)
センサ基板型式F-104(LIMIT), F-105(HOME)
オーバーホール費
¥ 150,000~
※オーバーホール費に交換部品代は含まれません
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます) ¥ 96,000
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます) ¥ 96,000
オプション・モータ交換
同形モータ交換費 ¥ 30,000~
異形モータ交換費 ¥ 72,000~
※モータ交換費に モータ費用は含まれません
 アクセサリ
 アクセサリ スペーサ等のアクセサリについてはこちらをご覧ください
お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくはお問い合わせください。

自動X/XYステージ