真空回転ステージ
MVRA05A-W02
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備考・特徴
●精密ベアリングを使用した、ウォーム&ウォームホイール式の真空対応自動回転ステージです。
●真空対応5相ステッピングモーター使用。(山洋電気 103H5505-83V2)
●真空対応5相ステッピングモーター使用。(山洋電気 103H5505-83V2)
メカ仕様
型式 | MVRA05A-W02 |
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テーブル面 | φ 49mm |
案内方式 | アンギュラベアリング |
回転範囲 | ±140° ※360°可 |
送り方式 | ウォーム&ウォームホイール 1/90 |
分解能 フル/ハーフ | 0.008°/0.004° |
分解能 マイクロステップ (1/20分割) | 0.0004° |
最高速度 | 20°/sec |
累積誤差 | ≦0.02°/360° |
ロストモーション | ≦0.009° |
角度再現性 | ≦0.01° |
ピッチ誤差 | ≦0.015°/4° |
バックラッシュ | ≦0.005° |
面振れ | ≦20μm/360° |
偏心 | ≦10μm/360° |
モーメント荷重 | 1.12 arcsec/N・cm |
水平耐荷重 | 39.2N (4kgf) |
材質 | アルミ合金 |
自重 | 0.8kg |
電気仕様
使用モータ | 真空5相ステッピングモーター 定格電流 1.4A/相,基本ステップ角 0.72° |
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コネクタ型式 | 真空用 D-sub 9ピン (Accu-Glass Products: 9D-HVCP) |
オーバーホール費 |
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~ |
オプション・グリス交換 | |
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クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます) | |
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます) |
オプション・モータ交換 | |
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同形モータ交換費 | ~ |
異形モータ交換費 | ~ |