真空X/XYステージ
MVXA16A-R101
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備考・特徴
●精密クロスローラガイドを使用した真空対応自動Xステージです。
●送り方式は高分解能の研削ネジを採用。
●真空対応5相ステッピングモーター使用。
●送り方式は高分解能の研削ネジを採用。
●真空対応5相ステッピングモーター使用。
メカ仕様
| 型式 | MVXA16A-R101 |
|---|---|
| テーブル面 | 160mm×124mm |
| 案内方式 | 精密クロスローラガイド |
| 移動範囲 | ± 30mm |
| 送り方式 | 研削ネジ リード1.0mm |
| 分解能 フル/ハーフ | 2μm/1μm |
| 分解能 マイクロステップ (1/20分割) | 0.1μm |
| 最高速度 | 5mm/sec |
| 累積リード誤差 | ≦±10μm/60mm |
| 繰返し位置決め精度 | ≦±0.5μm |
| ロストモーション | ≦ 2μm |
| 水平真直度 | ≦ 2μm/60mm |
| 垂直真直度 | ≦ 2μm/60mm |
| バックラッシュ | ≦1μm |
| モーメント荷重 | 0.03 arcsec/N･cm |
| 水平耐荷重 | 294N (30kgf) |
| 材質 | アルミ合金 |
| 自重 | 3.6kg |
電気仕様
| 使用モータ | 真空5相ステッピングモーター 定格電流 1.4A/相,基本ステップ角 0.72° |
|---|---|
| コネクタ型式 | 真空用 D-sub 9ピン (Accu-Glass Products: 9D-HVCP) |
| オーバーホール費 |
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| ~ |
| オプション・グリス交換 | |
|---|---|
| クリーングリス交換費（ 型式末尾に”-C”が付きます） | |
| 真空グリス交換費（型式末尾に”-V”が付きます） | |
| オプション・モータ交換 | |
|---|---|
| 同形モータ交換費 | ~ |
| 異形モータ交換費 | ~ |