自動X/XYステージ モンブランシリーズ

XA16A-R101

価格(JPY)
¥ 210,000
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ステージ結線図

備考・特徴

●精密クロスローラガイドを使用した自動Xステージです。
●送り方式は高分解能の研削ネジを採用。Z軸として縦に使用しても落下することがありません。
●5相ステッピングモーター使用。
●KOSMOSシリーズコントローラのご使用をお勧め致します。
●モーター5本リード線用ケーブルをご使用ください。
●2相ステッピングモーター仕様も承ります。(XA16A-R101-BM 追加費用¥40,000)
※2相モーター仕様の場合は、コネクタ型式が変わります。
メカ仕様
型式XA16A-R101
勝手違いXA16A-R101-R
テーブル面160mm×124mm
案内方式精密クロスローラガイド
移動範囲± 30mm
送り方式研削ネジ, リード 1.0mm
分解能 フル/ハーフ 2μm/1μm
分解能 マイクロステップ (1/20分割)0.1μm
最高速度10mm/sec
累積リード誤差≦10μm/60mm (AVE. 5.24μm/60mm)
繰返し位置決め精度≦±0.5μm (AVE. ±0.13μm)
ロストモーション≦ 2μm (AVE. 0.89μm)
水平真直度≦ 1μm/60mm (AVE. 0.26μm/60mm)
垂直真直度≦ 2μm/60mm (AVE. 0.28μm/60mm)
バックラッシュ≦1μm (AVE. 0.21μm)
モーメント荷重0.01 arcsec/N・cm  (AVE. 0.005 arcsec/N・cm)
水平耐荷重 294N (30kgf)
材質アルミ合金
外観白色仕上げ
自重 3.6kg
直交度-
電気仕様
使用モータ5相ステッピングモーター(Oriental Motor:C087Q-9215P)
2相ステッピングモーター(Oriental Motor: PK264JDB)
モーター軸径:Φ8mm , オプションハンドル:B type
コネクタ型式5相モーター:丸形20ピン (ヒロセ: RP13A-12RA-20PC)
2相モーター:角形20ピン (ヒロセ: PC-1620, P-1620A-STA)
センサ基板型式F-101(HOME, LIMIT)
オーバーホール費
¥ 60,000~
※オーバーホール費に交換部品代は含まれません
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます) ¥ 48,000
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます) ¥ 48,000
オプション・モータ交換
同形モータ交換費 ¥ 15,000~
異形モータ交換費 ¥ 36,000~
※モータ交換費に モータ費用は含まれません
 アクセサリ
 アクセサリ スペーサ等のアクセサリについてはこちらをご覧ください
お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくはお問い合わせください。

自動X/XYステージ