手動Zステージ

ZM05A-S3K

価格(JPY)
¥ 112,000
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ステージ結線図

備考・特徴

●精密クロスローラガイドを使用したマイクロレバー方式手動Zステージです。
●本体材質はアルミ白色仕上げを採用。
●ZM05A-S3Kは「Fine Pitch Positioner FPP03-13」を搭載した高分解能タイプです。
●「FPP03-13」は神津精機が独自設計開発したサブミクロン対応のマイクロメータヘッドです。
メカ仕様
型式ZM05A-S3K
勝手違いZM05A-S3K-R
テーブル面 50mm×50mm
案内方式精密クロスローラガイド
移動範囲± 3.25mm
垂直度≦ 5μm/6.5mm
最小読み取り 粗動 約5μm/目盛
微動 約0.25μm/目盛
水平耐荷重 19.6N (2kgf)
材質アルミ合金
外観白色仕上げ
自重0.38kg
駆動方式精密ポジショナー FPP03-13(13mm)
オーバーホール費
¥ 24,000~
※オーバーホール費に交換部品代は含まれません
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます) ¥ 18,000
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます) ¥ 18,000
オプション・モータ交換
同形モータ交換費 ~
異形モータ交換費 ~
※モータ交換費に モータ費用は含まれません
 アクセサリ
 アクセサリ スペーサ等のアクセサリについてはこちらをご覧ください
お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくはお問い合わせください。

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