手動Zステージ モンブランシリーズ ※詳細は型式をクリックして下さい
ZM10A-C3C
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備考・特徴
●精密クロスローラガイドを使用したクサビ型手動Zステージです。
●本体材質はアルミ白色仕上げを採用。
●ZM10A-C3Cは「Fine Pitch Positioner FPP03-13」を搭載した高分解能タイプです。
●「FPP03-13」は神津精機が独自設計開発したサブミクロン対応のマイクロメータヘッドです。
●本体材質はアルミ白色仕上げを採用。
●ZM10A-C3Cは「Fine Pitch Positioner FPP03-13」を搭載した高分解能タイプです。
●「FPP03-13」は神津精機が独自設計開発したサブミクロン対応のマイクロメータヘッドです。
メカ仕様
型式 | ZM10A-C3C |
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勝手違い | ZM10A-C3C-R |
テーブル面 | 100mm×100mm |
案内方式 | 精密クロスローラガイド |
移動範囲 | ± 1.5mm |
垂直度 | ≦ 3μm/3mm |
最小読み取り | 粗動 約2.5μm/目盛 微動 約0.125μm/目盛 |
水平耐荷重 | 68.6N (7kgf) |
材質 | アルミ合金 |
外観 | 白色仕上げ |
自重 | 2.1 kg |
駆動方式 | 精密ポジショナー FPP03-13(13mm) |
オーバーホール費 |
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¥ 42,000~ |
オプション・グリス交換 | |
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クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます) | ¥ 30,000 |
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます) | ¥ 30,000 |
オプション・モータ交換 | |
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同形モータ交換費 | ~ |
異形モータ交換費 | ~ |
アクセサリ | |
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アクセサリ | スペーサ等のアクセサリについてはこちらをご覧ください |