手動Zステージ

ZM10A-C3C

価格(JPY)
¥ 230,000
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ステージ結線図

備考・特徴

●精密クロスローラガイドを使用したクサビ型手動Zステージです。
●本体材質はアルミ白色仕上げを採用。
●ZM07A-C3Cは「Fine Pitch Positioner FPP03-13」を搭載した高分解能タイプです。
●「FPP03-13」は神津精機が独自設計開発したサブミクロン対応のマイクロメータヘッドです。
メカ仕様
型式ZM10A-C3C
勝手違いZM10A-C3C-R
テーブル面100mm×100mm
案内方式精密クロスローラガイド
移動範囲± 1.5mm
垂直度≦ 3μm/3mm
最小読み取り 粗動 約2.5μm/目盛
微動 約0.125μm/目盛
水平耐荷重 68.6N (7kgf)
材質アルミ合金
外観白色仕上げ
自重2.1 kg
駆動方式精密ポジショナー FPP03-13(13mm)
オーバーホール費
¥ 42,000~
※オーバーホール費に交換部品代は含まれません
オプション・グリス交換
クリーングリス交換費( 型式末尾に”-C”が付きます) ¥ 30,000
真空グリス交換費(型式末尾に”-V”が付きます) ¥ 30,000
オプション・モータ交換
同形モータ交換費 ~
異形モータ交換費 ~
※モータ交換費に モータ費用は含まれません
 アクセサリ
 アクセサリ スペーサ等のアクセサリについてはこちらをご覧ください
お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくはお問い合わせください。

関連情報

C3C、C3C-Rのグリス交換は、本体のみとなります。

手動Zステージの技術情報はこちらをご覧ください。

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