真空スイベル（ゴニオ）ステージ
MVSA10A-RT01
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備考・特徴
●案内方式に精密クロスローラガイドを使用した真空対応スイベルステージです。
●本体材質はアルミ。
●真空対応5相ステッピングモーター使用。
●本体材質はアルミ。
●真空対応5相ステッピングモーター使用。
メカ仕様
| 型式 | MVSA10A-RT01 |
|---|---|
| テーブル面 | 100mm×100mm |
| 案内方式 | 精密クロスローラガイド |
| 回転範囲 | ±10° |
| 送り方式 | ウォーム＆ウォームホイール 1/320 |
| 分解能 フル/ハーフ | 0.0022°/0.0011° |
| 分解能 マイクロステップ (1/20分割) | 0.00011° |
| 最高速度 | 5.5°/sec |
| ワークディスタンス | 95mm±0.2mm |
| 回転中心変位量 | ≦φ0.05mm/±10° |
| ロストモーション | ≦0.005° |
| バックラッシュ | ≦0.003° |
| モーメント荷重 | 0.02 arcsec/N・cm |
| 水平耐荷重 | 68.6N (7kgf) |
| 材質 | アルミ合金 |
| 自重 | 2.6kg |
電気仕様
| 使用モータ | 真空5相ステッピングモーター 定格電流 1.4A/相，基本ステップ角 0.72° |
|---|---|
| コネクタ型式 | 真空用 D-sub 9ピン (Accu-Glass Products: 9D-HVCP) |
| オーバーホール費 |
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| ~ |
| オプション・グリス交換 | |
|---|---|
| クリーングリス交換費（ 型式末尾に”-C”が付きます） | |
| 真空グリス交換費（型式末尾に”-V”が付きます） | |
| オプション・モータ交換 | |
|---|---|
| 同形モータ交換費 | ~ |
| 異形モータ交換費 | ~ |