6軸マニピュレータ USMシリーズ
超小型6軸マニピュレータ 「USM-R1C-010」
生産装置、分析装置で培ってきたノウハウを凝縮した「KOHZUの6軸」の新提案。
◦高精度・高剛性はそのままに、小型軽量化を実現!
◦全軸ボールネジ駆動により、長寿命!安定した精度を長期間持続し、再現します!
1. 集中コネクタユニット
6軸のモータ、センサー配線が1か所に集約され、面倒な多軸の配線作業を容易にします。
(不要な場合は、取り外しも可能です。)
2. 小型・軽量
自重(約3kg)が軽いので、高速で稼働する搬送軸への搭載が可能です
3. 高追従性
直線方向でサブミクロン、角度で秒単位の追従性を有しており、高い精度でで指令値通りの位置決めを完了します。
参考例 スイベルステージの1パルス送りの追従性データです。0.000797degに対して、±0.0002deg以内の誤差に収まっています。
製品仕様
軸名称 | 移動範囲 | 最高速度 | 最小分解能 | ドライバ分割数 |
X | ±3mm | 10mm/sec | 0.1μm | 1/20 |
Y | ±3mm | 10mm/sec | 0.1μm | 1/20 |
Z | ±1.5mm | 2.5mm/sec | 0.025μm | 1/20 |
θ | ±3° | 12.7°/sec | 0.000127° | 1/20 |
α | ±3° | 9.6°/sec | 約0.0000637° | 1/20 |
β | ±3° | 12°/sec | 約0.0000797° | 1/20 |
※最小分解能はドライバ分割数の設定によって変更が可能です。
製品カタログ |
CADデータ |
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