展示会情報 9/3~9/16 JSAP Autumn 2016(朱鷺メッセ)

2016.09.01

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  ウエハの反り測定には、自重たわみ(外力)補正が必須 !!
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といったコンセプトで「応用物理学会」に
【 形状測定システム Dyvoce(ダイボス) 】を
パネル展示いたします。


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  【YouTube】 形状測定システムDyvoce(ダイボス)の説明動画
  Dyvoce(約4分): http://youtu.be/JT3h-ZmgM-M
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どんなに高い精度で測定しても、
測定時のワークにかかる 【 自重たわみ 】 や 【 吸着による変形 】を無視しては、
SORI・BOW等の値は、【真値】と思われる値からかけ離れ、正しい測定とはいえません。
特に、薄いウエハや大口径ウエハの場合、
これらによる誤差量は100μmを大きく超える場合があります。

【 形状測定システム Dyvoce(ダイボス) 】では、
これらの影響を除去した、
【 より真値に近い測定 】を可能にします。

実例として、
この装置Dyvoce(ダイボス)では、
なんと厚さ100μmという薄さのφ300Siウエハでも、
その自重たわみなどがない≪本来の反り≫を高い正確性で測定を行えます。

応用物理学会会場では、
弊社のご提案する 【より真値に近い測定】の詳細なご説明をさせていただきます。

反り測定器導入の検討をされている方は必見です。
皆様のお越しを心よりお待ちしております。



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第77回応用物理学会秋季学術講演会展示会(JSAP Autumn 2016)


開催日時:9月13日(火) ~ 16日(金) 
        9:30(1日目13日は12:00) ~ 18:00(最終日16日は15:30)

会場:   朱鷺メッセ 展示ホール
        〒950-0078 新潟県新潟市中央区万代島6-1
        https://www.tokimesse.com/

小間No:Sa-11

公式webサイト:http://meeting.jsap.or.jp/


出展製品:高精度形状測定システムDyvoce(ダイボス)

~半導体ウエハの反りをはじめとする形状を簡単・高精度測定~

 製品はコチラ!→ 表面形状測定システム Dyvoceシリーズ


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